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微纳制造先进材料研究中心
上海工程技术大学
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孙韬
主任/教授
上海工程技术大学
研究方向 1)化学机械抛光在大硅片、IC应用的抛光机理研究 2)纳米新材料制备、改性与表面处理的应用研究 3)脆性材料的超精密加工机理的仿真 4)人工智能在材料学的应用
江振林
副主任/副教授
上海工程技术大学
研究方向 1)阻燃、抗菌功能高分子材料设计与应用 2)绿色循环与可降解材料设计与应用 3)柔性传感与智能可穿戴
王宝秀
副教授
上海工程技术大学
研究方向: 高分子材料的结构设计、制备技术体系构建及在生物医用、半导体、智能可穿戴领域的应用研究。
陈佳鹏
讲师/硕导
上海工程技术大学
陈佳鹏,南京航空航天大学博士,上海工程技术大学硕士生导师,“微纳制造先进材料研究中心”科研骨干,中国机械工程学会高级会员,东吴科技领军人才,浙江大学“硅及先进半导体材料全国重点实验室”、南京航空航天大学“机械结构力学及控制国家重点实验室”和“江苏省精密与微细制造技术重点实验室”、郑州磨料磨具磨削研究所有限公司“高性能工具全国重点实验室”客座研究员,宁波日晟新材料有限公司研发总监。 近5年来围绕1)集成电路关键材料;2)化学机械平坦化;3) 智慧生产,研发新型复合磨料并应用于集成电路和光伏半导体的切割和光整加工,与上海奥铼斯、福建三邦、昆山杰冉、宁波日晟、天长昱晟、无锡斯达均保持产学研合作。主持省市级或企业项目8项,参与国家自然科学基金重点项目在内的国家级、省部级项目9项,总经费1500余万元;以第一/通讯作者发表SCI论文30篇,被引327次,H指数11;申请中国发明专利13件,已授权6件,成果转化2件,直接金额165万元,登记中国软件著作6件;曾获中国机械工程学会“上银优博特别奖”等科研奖励2项,东吴领军人才、“挑战杯”上海赛区“优秀指导教师”等个人荣誉4项。
汪文君
上海工程技术大学
微纳制造先进材料研究中心助手
研究方向
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“微纳制造先进材料研究中心”是以微纳制造新材料在集成电路、宽禁带半导体、光电与显示交叉学科的创新团队。由国家级人才孙韬教授领衔,依托于化学化工学院学科方法,目前研究人员共11人,其中高级职称6人,团队主要致力于微纳米材料、结构和表面的合成、构筑和应用相关研究。
课题组新闻
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“2023年广富林国际半导体材料与超精密加工论坛”顺利举办
陈佳鹏老师获得第十二届上银优秀机械博士论文奖
陈佳鹏老师受邀参加第四届《金刚石与磨料具工程》杂志青年学者论坛并作大会报告
微纳制造先进材料研究中心与福建三邦硅材料有限公司全面战略合作签约揭牌仪式举行
奥铼斯(河南)智能科技有限公司产学研合作
陈佳鹏老师受邀参加中国机械工程学会青年精英论坛
陈佳鹏、袁海宽博士受邀参加奥铼斯(河南)智能科技有限公司“奥铼斯空气压缩机技术”研究院揭牌仪式