p集成电路关键材料与加工制造

集成电路关键材料：功能磨料与磨具、晶体生长 

集成电路加工制造：晶圆切割、研磨、抛光 

p微纳结构表面构筑与应用技术

微纳结构材料构筑：微纳孔结构、微纳米颗粒、分散与稳定 

微纳结构表面构筑：功能膜结构构筑、功能与特种涂层构筑、纤维结构 

循环再用与可降解：材料降解与老化、材料循环再利用、可降解材料

微纳米器件与应用：柔性传感器、智能执行器、柔性机器人