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涂敏 青年研究员 多孔材料、MEMS气体传感器、极紫外光刻
涂敏，中科院上海微系统与信息技术研究所2020 X-Lab青年研究员，独立PI，博士生导师。主要从事敏感材料微纳加工与器件集成方面的研究，迄今在Nat. Mater. 、Angew. Chem. Int. Ed. 、Acc. Chem. Res.、Adv. Funct. Mater. 等期刊发表文章30余篇。入选国家级青年人才项目、中科院和上海市海外高层次人才项目、上海市浦江学者、欧盟玛丽居里学者等，主持国家自然科学基金和国家重点研发计划课题等项目。
研究方向 更多 >
1. 多孔功能材料微纳加工与器件集成 2. MEMS气体传感器 3. 极紫外光刻胶
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