个人简介
博士,研究员,2015年7月调入浙科院理学院工作。2014年入选浙江省专家、 第四批杭州市全球引才"521"计划,2017年入选国家级专家。2006年开始,在美国IBM公司TJ Watson研究中心和半导体研发中心担任资深科学家/研究员(教授级),任职计算光刻部技术经理,具有五年的研发团队管理经验,指导和管理近三十人团队的研发工作。在全球领先的先进半导体,先进光刻,以及先进微纳光学衍射光学方面做出了开创性工作,并于2010和2012年两度获得IBM公司的最高研究成奖,2014年获得IBM公司“发明大师(Master Inventor)”称号,并连续六年(2008 - 2013)获得IBM发明成就奖。多次受邀国际会议报告,在物理和光学界的顶级期刊和国际会议上发表论文近50篇,申请发明专利40余项,其中多项专利授权已为IBM创造了六千余万美元的效益。
研究领域
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主要研究方向:衍射光学、半导体纳米制造和应用系统开发等相关前沿技术研究。