叶超 - 苏州大学 - 物理科学与技术学院

个人简介

1986年毕业于苏州大学物理系，2001年获理学硕士学位，2006年获理学博士学位。现为苏州大学基础物理国家实验教学中心副主任、苏州大学低温等离子体创新研究团队核心成员。从事过《固体物理实验》、《近代物理实验》、《低温等离子体诊断技术》、《大学物理实验》课程教学，主编《低气压低温等离子体诊断原理与技术》。主持、参加国家级科研项目6项，在《Appl. Phys. Lett.》等国内外学术期刊发表研究论文100多篇，获得过江苏省、苏州市、苏州大学科技进步奖，江苏省、苏州大学教学成果奖，江苏省优秀硕士论文奖等。

研究领域

从事低温等离子体物理、技术和凝聚态物理（薄膜物理）的研究

近期论文

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1、C. Ye, etal., Dielectric properties of silicon nitride films deposited by microwave electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition at low temperature, Appl.Phys.Lett. 71, 336 (1997) 2、C. Ye, etal., Microstructure and dielectric properties of silicon nitride films deposited by electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition, J.Appl.Phys. 83, 5978 (1998) 3、C. Ye, etal., Optical gap of fluorinated amorphous carbon films prepared by electron cyclotron resonance trifluromethane and benzene plasmas, Diamond Relat. Mater. 13, 191 (2004) 4、C. Ye, etal., Effect of doping on structure and dielectric property of SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane, J. Electrchem. Soc. 154, G63 (2007) 5、C. Ye, etal, Effect of decamethylcyclopentasiloxane and trifluromethane electron cyclotron resonance plasmas on F-SiCOH low dielectric constant film deposition, J.Appl.Phys. 106, 013302 (2009) 6、C. Ye, etal, Reptation aggregation of liquid silicon oils modified by Ar plasmas, Plasma Process. Polym. 10, 761 (2013) 7、F. Huang, C. Ye, etal, Effect of driving frequency on plasma property in radio frequency and very high frequency magnetron sputtering discharges, Plasma Sources Sci. Technol. 23, 015003 (2014)