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檀柏梅 教授 收藏 完善纠错
河北工业大学    电子信息工程学院
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个人简介

1991年毕业于天津大学物理系获理学士学位 1999年毕业于河北工业大学材料学院材料物理与化学专业获工学硕士学位 2003年毕业于河北工业大学信息学院微电子学与固体电子学专业获工学博士学位 1991至今，在河北工业大学任职助理馆员、讲师、副教授、教授。

研究领域

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微电子技术与材料，从事集成电路衬底及多层布线的CMP及后清洗的材料、工艺与技术的研究，在碱性CMP材料与技术、半导体表面洁净化技术方面取得了多项成果。

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