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个人简介

1994年7月本科毕业于河北工学院电子材料与元器件专业,随后留校工作;2008年获得河北工业大学微电子学与固体电子学专业博士学位。长期从事固体材料表面化学机械超精密加工技术、纳米抛光材料、半导体材料制备研究。

研究领域

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化学机械超精密加工技术、纳米抛光材料

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