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个人简介

研究员,1975年毕业于北京工业大学机械系。1975~1985先后在北京工业大学材料学院显微分析中心和固体微结构与性能研究所工作。1985~1987在德国Muenster大学物理所从事扫描电子显微学及电子探针X-射线显微分析。2000年在德国Wuppertal大学电子工程所从事微电子和光电子器件的扫描热成像和声成像研究。

研究领域

扫描电子显微学、电子显微分析技术和功能开发,包括in-situSEM/ESEM,电子背散射衍射(EBSD)及阴极荧光(CL)技术,成像衬度及机理,荷电补偿技术等。主要涉及半导体结构、微电子和光电子器件,纳米及复合材料等。

近期论文

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1. Y.Ji, L.Wang, Y.Q.Zhang, B.Wei, J.H.Wang, Y.L.Cheng, H.L.Suo, Distinguishing crystallographicmisorientations of lanthanum zirconate epilayers on nickel substrates by electron backscatter diffraction, Ultramicroscopy, 111, 314–319 (2011). 2. L.Wang, Y.Ji, B.Wei, Y.Q.Zhang, J.Y.Fu, X.D.Xu, X.D.Han, Charge compensation by in-situ heating for insulating ceramics in scanning electron microscope, Ultramicroscopy,109,1326-32 (2009). 3.Y.F. Zhang, L.Wang, Y. Ji, X.D. Han, Z. Zhang,R. Heiderhoff, A.-K.Tiedemann, L. J. Balk, Thermal Conductivity Studies of a GaN-Sapphire Structure by Combined Scanning Thermal Microscopy and ElectronBackscatter Diffraction, IEEE Proceedings of 16th IPFA-2009, China. 4. 田彦宝, 吉 元, 赵跃, 吴迪, 郭霞, 沈光地, 索红莉, 周美玲, GaAs GaN键合界面热应力的电子背散射衍射研究, 人工晶体学报, 37 (5), 1091-1096 (2008). 5.王俊忠, 吉 元, 田彦宝, 牛南辉, 徐晨, 韩军, 郭霞, 沈光地, GaN 外延结构中微区应变场的测量和评价, 电子学报, 36 (11), 2139-2143 (2008). 6. D.X.Wang, Y.Ji, T.X.Zhong, Z.G Li, X.Yang, D.M.Liu, and W.Q.Xiao, Texture Analysis of Damascene Copper Interconnects, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 29(6) ,1136-1140 (2008) 7. 卫斌, 吉元, 王丽, 张隐奇, 张小玲, 吕长志, 张跃飞, 电子束辐照对氧化锌纳米线I-V 特性的影响, 真空科学与技术学报学报, 28(4), 303-307(2008). 8. 付景永,吉 元等,环境扫描电镜ESEM中电荷环境的测量与评价,真空科学与技术学报,27 (1), 72-75 (2007). 9. Y. Ji, L.Wang, et al. Charge Contrast Imaging of Nonconductive Samples in the High-Vacuum Field Emission Scanning Electron Microscope Scanning 29(5): 230-237 (2007). 10. Y. F. Zhang, X. D. Han, K. Zheng, Z. Zhang, X. N. Zhang, J.Y. Fu, Y. Ji, et al., Direct observation of super-plasticity of beta-SiC nanowires at low temperature, Advanced Functional Materials 17, 3435–3440 (2007) 11. J. F. Luo, Y. Ji, T. X. Zhong, Y. Q. Zhang, et al. EBSD measurements of elastic fields in a GaN/Sapphire structure, Microelectronics Reliability 46, 178-182 (2006). 12. X.L.Quan, Y.Ji, H.Zhang, Y.Q.Zhang, X.D.Xu, T.X.Zhong. Charging Compensation of Alumina Samples by using an Oxygen Micro-Injector in the Environmental Scanning Electron Microscope, Scanning 28, 289-293 (2006). 13. 王俊忠,吉元,王晓冬,刘志民,罗俊锋,李志国,Al互连线和Cu互连线的显微结构,中国物理, 56 (1): 371-375 (2006). 14. J.F. Luo, Y. Ji , T.X. Zhong, Y.Q. Zhang, J.Z. Wang, J.P. Liu, N.H. Niu, J. Han, X. Guo, G.D. Shen, Microelectronics Reliability 46,178-182 (2006)

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