当前位置: X-MOL首页全球导师 国内导师 › 秦福文

个人简介

1994年7月至今,在大连理工大学物理学院工作,为大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室固定研究人员。 1994年和2000年作为主要参与者,先后完成了两代电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)设备的设计和建造工作。 2005年1月至2007年12月作为项目负责人完成了两项国家自然基金项目和一项辽宁省教育厅项目。1996年今,作为主要参加者还参与了氮化镓(GaN)基半导体材料PEMOCVD低温生长方面的五项国家自然科学基金项目、一项国家八六三项目(No.715-011-0033)和一项国家重大基础研究(973)专项项目等, 在ECR-PEMOCVD设备的设计制造、GaN薄膜的低温生长及光电特性研究方面具有丰富的实践经验。 2004年至今已指导硕士研究生26人,协助指导博士生7人,协助指导硕士研究生11人。学生在读期间将学习和掌握半导体物理、半导体器件物理及微电子工艺的相关理论知识,并能熟练操作ECR-PEMOCVD、射频磁控溅射等用于薄膜生长的大型设备,深入学习和掌握GaN等半导体薄膜的制造工艺与机理。毕业生就业去向多是与集成电路、微电子器件、半导体光电、液晶、OLED制造相关的高新企业及研究机构等。 教育经历 1998.3 -- 2004.4 大连理工大学 材料学 博士 1991.9 -- 1994.7 吉林大学 半导体物理与半导体器件物理 硕士 1987.9 -- 1991.7 辽宁大学 光学 学士 工作经历 2004.1 -- 至今 物理与光电工程学院 副教授 1994.7 -- 2003.12 电气工程与应用电子技术系 副教授

研究领域

氮化镓(GaN)薄膜在金属衬底上的等离子体增强低温生长研究

近期论文

查看导师新发文章 (温馨提示:请注意重名现象,建议点开原文通过作者单位确认)

牟宗信.非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型[J],物理学报,2022,54(3):1378-1384 边继明.高热导石墨衬底上的ZnO基MOS器件生长及表征[A],中国物理学会;中国稀土学会,2022,212-212 崔洪涛.升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜[J],半导体技术,2022,2:117-120 辛萍.反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析[J],物理学报,2022,2:1082-1087 秦福文.在镀铝玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性[A],2008中国材料研讨会,广州,2008年11月20日-24日:E3-24,104,2022,104-104 刘胜芳.在镀铝玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性[J],半导体光电,2022,4:557-562 刘国涛.在GaAs衬底表面生长GaN过程中的氮化新方法[J],半导体光电,2022,24(1):45-47 宋世巍.基于ECR-PEMOCVD生长的稀磁半导体(Ga,Mn)N的特性[J],功能材料,2022,9:1473-1476 郎佳红.基于RHEED图像外延GaN基薄膜表面晶格演变分析[J],安徽工业大学学报 自然科学版,2022,24(1):67-71 郎佳红.基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究[J],红外技术,2022,29(2):79-82 张东.Deposition and properties of highly C-oriented GaN films on diamond substrates[J],APPLIED PHYSICS A MATERIALS SCIENCE PROCESSING,2022,102(2):353-358 王三胜.用N_2-H_2等离子体氮化GaAs衬底对ECR-PEMOCVD生长立方GaN的影响(英文)[J],发光学报,2022,S1:24-28 汤斌.电子回旋共振氮等离子体氧化后退火对4H-SiC MOS电容TDDB特性的影响[J],固体电子学研究与进展,2022,35(2):191 张志坤.石墨衬底上低维ZnO纳米材料的生长(英文)[J],无机材料学报,2022,29(01):103-107 秦福文.碳化硅MOS器件氧化层界面附近碳存在形式的理论研究进展[J],智能电网,2022,6(1):12-17 章家岩.等离子体清洗GaAs和Al2O3衬底的RHEED图像分析[J],华中科技大学学报 自然科学版,2022,5:88-91 顾彪.立方GaN结晶薄膜生长中的ECR等离子体[A],2000年中国材料研讨会,2022,4 李慧.线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备[J],哈尔滨工程大学学报,2022,3:423-426 张东.自持金刚石厚膜上GaN薄膜的沉积及其表征[A],TFC’09全国薄膜技术学术研讨会,2022,1 刘明.蓝宝石基片的处理方法对ZnO薄膜生长行为的影响[J],物理学报,2022,57(2):1133-1140 郎佳红.蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响[J],半导体技术,2022,30(1):57-60 秦福文.蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究[J],Pan Tao Ti Hsueh Pao Chinese Journal of Semiconductors,2022,6:668-672 陈伟绩.衬底氮化时间对玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜结晶性的影响[J],功能材料,2022,11:1836-1839 刘宝丹.Microstructure and cathodoluminescence study of GaN nanowires without/with P-doping[J],CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY,2022,47(2):207-212 牟宗信.Model of the magnetic mirror effect in the unbalanced magnetron sputtering ion beams[J],Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica,2022,54(3):1378-1384 王德君.N型4H-SiC ECR氢等离子体处理研究[J],固体电子学研究与进展,2022,29(3):334-338,416 Cai, Chengxuan.Oxygen vacancy formation and uniformity of conductive filaments in Si-doped Ta2O5 RRAM[J],APPLIED SURFACE SCIENCE,2022,560 Li, Wenbo.Passivation effects of phosphorus on 4H-SiC (0001) Si dangling bonds: A first-principles study[J],Chinese Physics B,2022,26(3) Liu, Bingbing.Passivation of SiO2/4H-SiC interface defects via electron cyclotron resonance hydrogen-nitrogen mi[J],APPLIED SURFACE SCIENCE,2022,364:769-774 Sun, Yunong.Plasma passivation of near-interface oxide traps and voltage stability in SiC MOS capacitors[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2022,125(18) Gu, B.Plasma pretreatment of GaAs substrates and ECR-PAMOCVD of cubic GaN[A],2nd International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes (2nd ISBLLED),2022,524-527 白亦真.Preparation and Characteristics of GaN Films on Freestanding CVD Thick[J],Chinese Physics Letters,2022,27(1):181021-181024 张东.Preparation and Characteristics of GaN Films on Freestanding CVD Thick Diamond Films[J],Chinese Physics Letters,2022,27(1) 秦福文.Publishers Note: Chemical and electronic passivation of 4H-SiC surface by hydrogen-nitrogen mixed pl[J],APPLIED PHYSICS LETTERS,2022,104(26):269902-269902 Li, Xiaoxuan.Realization of nitride-oxide based p-n heterojunctions with the n-VO2/p-GaN/sapphire structure[J],MATERIALS RESEARCH BULLETIN,2022,77:199-204 Wang, Shuaijie.Impact of the Deposition Temperature on the Structural and Electrical Properties of InN Films Grow[J],COATINGS,2021,10(12) 尹志鹏.Low-temperature re-oxidation of near-interface defects and voltage stability in SiC MOS capacitors[J],Applied Surface Science,2021,31(30):147312-147312 胡金娟.GO/TiO2-g-C3N4纳米复合材料的制备及可见光催化性[J],无机化学学报,2021,36(12):2240-2248 胡金娟.Ag-Ag2O/TiO2-g-C3N4纳米复合材料的制备及可见光催化性能[J],复合材料学报,2021,37(6):1401-1410 Wang, Shuaijie,Qin, Fuwen,Bai, Yizhen,Zhang, Dong.Study on Preparation and Properties of InN Films on Self-Supporting Diamond Substrates Under Diffe[J],FRONTIERS IN MATERIALS,2020,7 苏艳,秦福文,王德君.Synergistic passivation effects of nitrogen plasma and oxygen plasma on improving the interface qual[J],Applied Surface Science,2020,513:145837-145837 Yang, Chao,Yin, Zhipeng,Zhang, Fanglong,Su, Yan,Qin, Fuwen,Wang, Dejun.Synergistic passivation effects of nitrogen plasma and oxygen plasma on improving the interface qu[J],APPLIED SURFACE SCIENCE,2020,513 王宁,马春雨,胡金娟,王佳琳,秦福文,张庆瑜.MoS2/GO-g-C3N4-ZnO三元复合纳米材料的制备及可见光光催化性能研究[J],功能材料,2019,50(9):6-12 Yang, Chao,Zhang, Fanglong,Yin, Zhipeng,Su, Yan,Qin, Fuwen,Wang, Dejun.Interface properties and bias temperature instability with ternary H-Cl-N mixed plasma post-oxidat[J],APPLIED SURFACE SCIENCE,2019,488:293-302 Sun, Yunong,Wang, Dejun,Yang, Chao,Yin, Zhipeng,Qin, Fuwen.Plasma passivation of near-interface oxide traps and voltage stability in SiC MOS capacitors[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2019,125(18) 王三胜,顾彪,徐茵,秦福文,隋郁,杨大智.用N_2-H_2等离子体氮化GaAs衬底对ECR-PEMOCVD生长立方GaN的影响(英文)[J],发光学报,2001,S1:24-28 顾彪,隋郁,秦福文,王三胜,徐茵.立方GaN结晶薄膜生长中的ECR等离子体[A],2000,4 徐茵,从吉远,杨树人,顾彪,秦福文.GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术[J],半导体技术,1998,01:38-40 徐茵,夏亚红,秦福文,顾彪.氮ECR微波等离子体的电子能量分布研究[J],核聚变与等离子体物理,1997,17(3):45 顾彪,孙捷,张砚臣,丛吉远,秦福文,徐茵.GaAs衬底上立方GaN的低温生长[J],稀有金属,1998,22(2):143-145 李伯海,秦福文,吴爱民,王艳艳,徐茵,顾彪.多晶硅沉积工艺中中间层对多晶硅质量的影响[J],半导体光电,2007,28(5):685-689 顾彪,徐茵,孙凯,秦福文.(001)GaAs衬底上异质外延的立方GaN薄膜与界面[J],半导体学报,1998,19(4):241 郎佳红,秦福文,顾彪,章家岩.外延GaN基薄膜表面应变演变RHEED分析[J],微纳电子技术,2009,46(8):467-472 牟宗信,李国卿,秦福文,黄开玉,车德良.非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型[J],物理学报,2005,54(3):1378-1384 章家岩,郎佳红,秦福文,顾彪.等离子体清洗GaAs和Al2O3衬底的RHEED图像分析[J],华中科技大学学报(自然科学版),2005,33(5):88-91 王艳艳,秦福文,马世猛,吴爱民,王叶安.α-Al2O3上生长GaN过程中氮化的研究[J],红外与激光工程,2007,36(5):721-724 何欢,秦福文,吴爱民,王叶安,代由勇,姜辛,徐茵,顾彪.ECR-PEMOCVD技术生长的GaMnN薄膜的特性[J],半导体学报,2007,28(7):1053-1057 秦福文,顾彪,徐茵,杨大智.GaN缓冲层上低温生长AlN单晶薄膜[J],半导体光电,2003,24(1):32-36 郎佳红,顾彪,徐茵,秦福文.GaN基半导体材料研究进展[J],激光与光电子学进展,2003,40(3):45-49 王三胜,杨大智,窦宝锋,秦福文,徐茵,顾彪.GaN基材料生长及其在光电器件领域的应用[J],材料导报,2002,16(1):31-35

推荐链接
down
wechat
bug