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个人简介

1995.9-1999.7 中国科学技术大学物理系,理学学士学位 1999.9-2004.8 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,微电子于固体电子学,工学博士学位 2004.9-2010.8 日本武藏工业大学,研究员,助手。 2010.9-今,华中科技大学武汉光电国家实验室(筹)、建立先进集成光子学研究团队、教授、博导 2010.12-今 华中科技大学武汉光电国家实验室微纳制造与测试平台,主任(兼任)。

研究领域

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硅基集成光子学:在硅基光电子集成 硅基光源:高性能的硅基光源、单光子光源与纠缠光子光源 纳米光子学:微纳尺度光学结构中的光电子行为 微腔器件:超高Q值光子晶体微腔、微环、微盘及微腔内的物理学现象 分子束外延:SiGe微纳结构的分子束外延技术 波导器件:硅纳米波导、光开关、调制器等器件 高精度微纳加工技术: 研究高精度的半导体微纳加工技术、包括电子束曝光、干法刻蚀等工艺

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