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个人简介

【教育经历】 1996.9-2001.7 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系本科 ,获机械设计制造及其自动化专业学士学位 2001.8-2007.12 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系硕博连读,获仪器科学与技术博士学位 【工作经历】 2002.7 起 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系工作,历任助教、讲师 其中2010.4-2012.4 日本产业技术综合研究所 特别研究员

研究领域

微机电系统(MEMS)设计、制造及应用 生物微机电系统(BioMEMS):微环境对细胞行为调控的研究 生物医学工程:基于微加工的仿体制备和检测

近期论文

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1. Fabrication and characterisation of piezoelectric microcantilever array with carbon nanotube tips assembled by nano-handling 2014.03 International Journal of Nanomanufacturing 10 265-280; 2.Fabrication and Characterization of Piezoelectric Cantilever Array with Nano-assembly Carbon Nanotube Tips 2012.08  Proceedings of 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO)  292-296; 3. Pattern buried oxide in silicon-on-insulator-based fabrication of floppy single-crystal-silicon cantilevers 2011.04  Micro Nano Lett.  Vol. 6, No. 4 240-243; 4. Mass-loading effect on quality factor of floppy silicon microcantilever in free air space 2011.02 Micro Nano Lett. Vol. 6, No. 2 62-65; 5. Al doped poly-Si micro-heater for thermomechanical fabrication of micro/nano structure 2011.01 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering Vol.19 No.1 124-131; 6. Size and mass loading effect on quality factor of single-crystal silicon cantilever in atmosphere 2010.08  Proceedings of SPIE Vol.7544 754462(1-6); 7. Fabrication of cantilevers with high yield for magnetic resonance force microscopy 2010.01 Proc. of 5th IEEE International Conference on NEMS  633-636

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