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个人简介

2003年本科毕业于浙江大学机械工程机电一体方向,2004年留学日本东京工业大学并于2009年获得博士学位,得到日本文部科学省的国费奖学金和学习奖励以及小林国际奖学财团的奖学资助。此后留任东京工业大学精密工学研究所,先后历任博士后研究员、助理教授和副教授研究员。期间还兼任日本佳能株式会社的自动控制理论的讲师和日本流体传动学会的气动技术理论的讲师。于2013年6月回到浙江大学机械电子控制工程研究所任职特聘研究员至今。于2016年1月起担任浙江大学机械电子控制工程研究所副所长。

研究领域

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半导体制造机电技术

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