孙清清 - 复旦大学 - 微电子学院

个人简介

教育背景 2007年-2008年德国汉诺威大学，访问学者 2004年09月-2009年06月复旦大学，微电子学系，博士 2000年09月-2004年06月复旦大学，物理学，学士学术经历 2013年12月-至今复旦大学，微电子学院，研究员、博士生导师 2011年09月-2013年06月复旦大学，微电子学系，副研究员 2009年07月-2011年08月复旦大学，微电子学系，讲师荣誉称号基金委优秀青年基金获得者上海市优秀学术带头人上海市青年科技启明星上海市晨光学者 2016年度获中国电子学会技术发明奖一等奖（3） 2014年度获上海市科学技术奖二等奖（4）主持的国家级项目国家科技重大专项课题“65-45nm PVD工艺优化的理论和实验研究” 国家科技重大专项课题“32-22nm高k/金属栅纳米叠层材料制备工艺研究” 自然科学基金委重大科学仪器研制项目课题“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器” 国家高技术研究发展计划（863计划）子课题“14纳米以下技术代硅基新型器件及关键工艺技术研究” 自然科学基金优秀青年科学基金“低功耗电子器件” 自然科学基金面上项目“高k介质/拓扑绝缘体界面结构的物理和电学特性研究” 自然科学基金青年基金“原子层淀积栅介质/石墨烯纳米叠层的界面和电子结构”

研究领域

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新结构集成电路逻辑、存储、传感器件及其芯片设计集成电路先导工艺与器件，包括原子层淀积、铜互连技术等高性能存储器件，包括半浮栅晶体管、阻变存储器等晶圆级二维半导体材料、器件及其电路应用