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个人简介

教育背景 1995年中科院上海微系统所,微电子学与固体电子学专业,获博士学位 学术经历 1995年08月-至今复旦大学,历任讲师、副教授、教授

研究领域

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半导体器件物理 微电子薄膜工艺

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