屈新萍 - 复旦大学 - 微电子学院

个人简介

教育背景 1999年7月复旦大学电子工程系，微电子与固体电子学专业，博士 1996年7月中科院上海硅酸盐研究所，无机非金属专业，硕士 1993年7月华中科技大学，固体电子学系，学士个人经历 2009年12月-2010年01月香港城市大学，访问学者 2008年08月-2018年05月复旦大学，信息学院，党委副书记 2006年04月-至今复旦大学，微电子学学院，教授、博士生导师 2006年02月–2006年04月美国UCLA大学，材料科学系，访问学者 2005年09月–2005年10月比利时根特大学，访问学者 2003年09月–2008年07月复旦大学，信息学院，院长助理、主管外事 2001年11月–2006年03月复旦大学，微电子学系，副教授 2001年06月–2001年11月复旦大学，微电子学系，讲师 2000年03月–2001年03月比利时根特大学，固态科学系，博士后荣誉称号获得上海市“曙光学者”称号，2012 获得“教育部新世纪优秀人才”称号，2011 获得“复旦大学2009年度优秀研究生导师”称号，2009 获得“上海高校优秀青年教师”荣誉称号，2009 复旦大学陆宗霖奖教金，2008 获得上海市科委“启明星跟踪”人才项目，2008 获得复旦大学复华奖教金，并评为“复旦大学优秀世纪之星”，2005 入选上海市科委“科技启明星”人才项目，2004 入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”，2003 复旦大学“世纪之星”，获得“教学和科研综合奖”，2002 科研获奖教育部科技进步三等奖，1999 国际集成电路和固态技术会议上获“最佳研究生论文奖”，1998

研究领域

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集成电路新型互连材料研究三维异质集成工艺研究高深宽比TSV和大马士革电镀填充研究化学机械抛光和后清洗研究氧化物薄膜晶体管研究

学术兼职

IEEE高级会员，美国电化学学会会员中国化学机械平坦化联盟（China-CMPUG）副主席（2015-）中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造专业委员会副主任委员（2013-）国际ICPT会议执行委员会委员（2012-） 2016年国际抛光大会ICPT2016程序委员会主席（2016.10.17-19） 2015年9月韩国ADEMTA会议邀请报告，5月海峡两岸平坦化技术研讨会（清华大学）邀请报告、分会主席 2014年 3月CSTIC会议邀请报告、3月TFPM会议主旨报告、8月美国CMP会议（Albany）邀请报告、9月海峡两岸平坦化技术研讨会（台中）邀请报告；10月ICSICT会议（桂林）分会主席 2013年海峡两岸平坦化技术研讨会（天津）邀请报告、分会主席 2012年10月ICPT会议（法国, Grenoble）邀请报告、分会主席 2011年11月国际ICPT会议（韩国,首尔）分会主席 2011年3月CSTIC会议邀请报告 2011年5月第六届复旦－诺发铜互连技术国际研讨会主席。2004-2008年五届复旦－诺发铜互连技术国际研讨会主席 2010年10月国际集成电路和固态技术会议（ICSICT）分会主席，上海， 2010年1月IEEE国际纳米电子学会议INEC （香港）分会主席 2008、2010年第八届、第十届国际结技术研讨会（IWJT）组织委员会共主席 2006年第六届国际结技术研讨会（IWJT）程序委员会共主席 2004年第四届国际结技术研讨会（IWJT）出版委员会主席，主编“第四届国际结技术研讨会”论文集 2001年编辑“第六届国际集成电路和固态技术会议”论文集（第三编辑），美国电化学学会杂志、欧洲Elsevier杂志（Thin solid films等）、IOP杂志（Nanotechnology等）、Wiley杂志、IEEE EDL、美国ACS杂志、中国半导体学报、中国物理快报等杂志审稿人