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张大成 教授 收藏 完善纠错
北京大学    信息科学技术研究所
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个人简介

1984年北京工业大学半导体器件专业学士，2000年和2005年分别在北京大学获微电子学与固体电子学硕士和博士学位。

研究领域

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微纳加工工艺及工艺质量评估方法、MEMS传感器芯片、工艺相关微纳结构力学特性表征方法

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