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个人简介

教育背景 1985.9至1989.7 北京大学就读微电子专业获学士学位 工作经历 1989.9-1990.11北京半导体器件五厂 1990.11-1993.2借调北京大学微电子所 1993.2-现在 北京大学集成电路学院

研究领域

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主要从事半导体工艺测试及刻蚀工艺研究,负责调研引进并管理实验室多台核心进口设备

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