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刘鹏 工程师 收藏 完善纠错
北京大学    信息科学技术研究所
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个人简介

刘鹏，男，1981年出生，硕士。2007年起，专业从事微电子加工工艺研究，主要研究方向是基于电子束光刻工艺的纳尺度图形化技术，和基于高密度等离子体干法刻蚀工艺的纳尺度图形转移技术

研究领域

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开发大高宽比纳米结构无硬掩膜制造技术

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