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个人简介

1989年复旦大学电子工程系本科毕业,获理学学士学位,1995年西安交通大学电子与信息工程学院博士研究生毕业,获工学博士学位。1995年至1997年在中国科学院半导体研究所作博士后,1997年至2000年在美国University of California, Los Angeles(简称UCLA)留学,为博士后研究员。先后做过的主要科研工作有:Si/SiGe异质结双极晶体管(HBT)研究,量子阱红外探测器及其相关物理问题研究,Si/Ge和III-V族材料量子点超晶格的制备、形态及物理学性质研究,高频大功率AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)及放大器的设计、制作、特性测试与模拟研究,新型1.3和1.55微米SiGe光探测器研究等。

研究领域

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主要研究领域是微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术,为国家自然科学基金项目“MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究”和“射频MEMS无源元器件铜互连及其建模技术研究”、

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