个人简介 男,1963年出生,教授。现任北京大学微电子研究院副院长,微米/纳米加工技术国家级重点实验室副主任。1991年毕业于北京大学计算机系微电子专业,获硕士学位。2004年获博士学位。1991年起留校工作至今。