个人简介
教育背景
1996.09-2000.07 清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学学士学位
2000.09-2006.07 清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学博士学位
工作履历
2006.07-2007.04 国家纳米技术与工程研究院,微纳加工技术实验室主任
2007.05-2010.05 清华大学精密仪器与机械学系,博士后
2010.06-2013.10 清华大学精密仪器与机械学系,助理研究员
2013.11至今 清华大学精密仪器系,副研究员
研究领域
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主要研究微米/纳米技术,具体包括RF-MEMS、空间MEMS技术,以及MEMS技术中的新材料及新原理