穆海华 - 清华大学 - 机械工程系

个人简介

教育背景 2003.9~2007.6，华中科技大学机械电子工程，获博士学位 2000.9~2003.7，华中科技大学机械电子工程，获硕士学位 1996.9~2000.7，华中理工大学机械工程及自动化，获学士学位工作履历 2007.12~2010.10，华中科技大学计算机学院，博士后 2010.10~至今，清华大学机械工程系机械电子研究所

研究领域

自2003年起，一直从事光刻装备超精密运动系统的纳米精度精密控制研究。主要研究兴趣在于纳米运动轨迹规划方法及其精度影响与控制、动态行为耦合及其精细化控制、基于前馈-反馈广义耦合的控制参数精细化标定。目前的研究兴趣正在向无振动运动轨迹规划设计准则、基于能量运动控制新型理论与方法的研究

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