张鸣 - 清华大学 - 机械工程系

个人简介

教育背景 2001/09-2005/07,清华大学，博士 1996/09-1999/04,中国运载火箭技术研究院十三所，硕士 1992/09-1996/07,北京科技大学，学士工作履历 2013/01-至今, 清华大学机械工程系，副研究员 2012/01-2012/12,清华大学精密仪器与机械学系，副研究员 2007/10-2011/12,清华大学精密仪器与机械学系，助理研究员 2005/07-2007/09,清华大学工程力学系，博士后，助理研究员 1999/04-2000/08,中国运载火箭技术研究院230厂，助理工程师奖励与荣誉 2015年获中国专利优秀奖 2019年获中国专利银奖 2019年获北京市科技进步一等奖

研究领域

长期专注于高端光刻机超精密工件台的研发，作为结构技术负责人主持了双工件台研发过程中每个关键技术节点的结构方案制定和结构设计工作。研究领域涉及双工件台系统设计、结构创新和关键技术研究。在关键技术方面，研究主要涉及气浮轴承分析与应用、动力学分析与优化、高性能驱动、激光干涉位移测量及核心制造工艺攻关。主要研究方向为面向IC制造装备的精密机械设计、超精密测量、特种电机设计等。

近期论文

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Zhu Y, Liu F, Zhang M, et al. Optimal design of ironless permanent magnet planar motors for minimisation of force ripples[J]. IET Electric Power Applications, 2013, 7(4): 321-330. Min W, Zhang M, Zhu Y, et al. Analysis and design of novel overlapping ironless windings for planar motors[J]. Magnetics, IEEE Transactions on, 2011, 47(11): 4635-4642. Liu Y, Zhang M, Zhu Y, et al. Optimization of voice coil motor to enhance dynamic response based on an improved magnetic equivalent circuit model[J]. Magnetics, IEEE Transactions on, 2011, 47(9): 2247-2251. Gao Z Y, Zhang M, Hu J C, et al. Interferometer Environmental Error Compensation Based on Refractive Index’s Spatio-Temporal Coupling Model[J]. Advanced Materials Research, 2011, 219: 670-674. Tian C, Ming Z, Yu Z, et al. Dynamic analysis of Nano-precision stage with aerostatic bearing[C]. Electric Information and Control Engineering (ICEICE), 2011 International Conference on. IEEE, 2011: 3221-3224. Min W, Zhang M, Zhu Y, et al. Analysis and optimization of a new 2-D magnet array for planar motor[J]. Magnetics, IEEE Transactions on, 2010, 46(5): 1167-1171. Zhang M, Chen B, Zhu Y, et al. Laplacian Kernel based SIG algorithm for FIR filtering in the presence of alpha-stable noise＇[J]. ICIC Express Letters, 2010, 4(1): 173-176. Zhang M, Zhu Y, Ren G, et al. Finite Element and Experimental Analysis on Micro-Vibration of Ultra Precision Air Bearing Linear Motion Stage and Methods of Its Elimination[C]. ASME, 2007. Zhang M, Zhu Y, Ren G, et al. Finite element and experimental modal analysis of ultra-precision air bearing linear motion stage[C]//Technology and Innovation Conference, 2006. ITIC 2006. International. IET, 2006: 1721-1725. Yaying C, Ming Z, Yu Z, et al. A study on a linear-driven ultraprecision gas bearing stage with electrorheological fluid damper[J]. 2006.