个人简介
教育背景
2006/09-2012/01,清华大学，博士
2002/09-2006/06,吉林大学，学士
工作履历
2020/12-至今, 清华大学机械工程系，副研究员
2014/01-2020/12, 清华大学机械工程系，助理研究员
2012/01-2013/12, 清华大学精密仪器系，博士后
奖励与荣誉
2019年度“中国好设计”奖金奖1项(排名2)
2019年度中国机械工业技术发明奖特等奖1项(排名2)
2019年度天津市技术发明奖一等奖1项(排名3)
2018年获得天津市“中青年科技创新领军人才”
近期论文
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Xie LL, Cheng J, Wang TQ, Lu XC. Mechanical wear behavior between CeO2(100), CeO2(110), CeO2(111), and silicon studied through atomic force microscopy. Tribology International, 2020, 106616.
Zhang LF, Wang TQ, Lu XC. Potassium persulfate as an oxidizer in chemical mechanical polishing slurries relevant for copper interconnects with cobalt barrier layers. Journal of Materials Science, 2020, 55(21), 8992-9002.
Cheng J, Pan JS, Wang TQ,Lu XC. Micro-galvanic corrosion of Cu-Ru couple in Potassium Periodate (KIO4) solution. Corrosion science, 2018, 137:184-193.
Rao C, Wang TQ, Peng YR, Cheng J, Sung Kyu Lim, Lu XC. Residual stress and pop-out simulation for TSVs and contacts in via-middle process. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2017, 37(3):333-339.
Wang J, Wang TQ, Pan GS, Lu XC. Effect of photocatalytic oxidation technology on GaN CMP. Applied Surface Science, 2016, 361, 18-24.
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