邓晓 - 同济大学 - 物理科学与工程学院

个人简介

教育经历 2007-9至2011-6, 同济大学, 应用物理学, 学士 2014-8至2016-7, 美国国家标准技术研究院（NIST）, 光学计量, 客座研究员（Guest Researcher）/联合培养博士 2011-9至2016-12, 同济大学, 光学, 博士工作经历 2016-12至2018-12, 同济大学, 航空航天与力学学院, 博士后 2018-12至2021.12, 同济大学, 物理科学与工程学院, 助理教授，硕导 2022.01至今，同济大学, 物理科学与工程学院, 副教授，博导获奖 2021年中国科协第六届青年托举人才荣誉 2021年同济大学“优秀班主任”

研究领域

面向先进纳米制造、晶圆光刻、惯性导航、精密重力测量等领域对超精密纳米计量光栅的需求，应用原子光刻技术、软X射线干涉光刻技术、多层膜光栅技术等，开展光栅、线宽等标准物质研制及纳米级长度测量及应用工作。具体研究方向包括：（1）纳米长度标准物质研制；（2）皮米级精密微位移测量；（3）计算纳米测量技术；（4）MOEMS超精密加速度计

近期论文

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Scanning and Splicing Atom Lithography for Self-traceable Nanograting Fabrication, Nanomanufacturing and Metrology, 2022, 179–187, Xiao Deng ;Wen Tan; Zhaohui Tang; Zichao Lin; Xinbin Cheng; Tongbao Li A new type of nanoscale reference grating manufactur ed by combined laser-focused atomic deposition and x-ray interference lithography and its use for calibrating a scanning electron microscope, Ultramicroscopy, 2021, 226: 113293(1-5),Xiao Deng; Gaoliang Dai; Jie Liu; Xiukun Hu; Detlef Bergmann; Jun Zhao; Renzhong Tai; Xia oyu Cai; Yuan Li; Tongbao Li; Xinbin Cheng Realization of orthogonality in two-step laser focused Cr atomic deposition, Optik, 2019, 185: 423- 428, Deng, Xiao; Liu, Jie; Zhu, Li; Zhang, Baowu; He, Pengfei; Cheng, Xinbin; Li, Tongbao Natural square ruler at nanoscale, APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2018, 11(7): 075201(1-4), Xiao Deng; Jie Liu; Li Zhu; Pengfei He; Xinbin Cheng; Tongbao Li Optimization of Nano-Grating Pitch Evaluation Method Based on Line Edge Roughness Analysis, Measurem ent Science Review, 2017, 17(6): 264-268, Chen Jie; Liu Jie; Wang Xingrui; Zhang Longfei; Deng Xiao; Cheng Xinbin; Li Tongbao

学术兼职

全国新材料与纳米计量技术委员会（MTC29）委员（2020.07~2024.06）