王波 - 哈尔滨工业大学 - 机电工程学院

个人简介

男，汉族，1971年生，工学博士，哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所副所长。主要研究方向为超精密加工工艺与装备、短波光学元件制造技术、光学元件大气等离子体加工技术、微细超精密加工技术。在研中科院战略性先导专项空间科学（二期）项目二项、机床与装备相关专项四项、另有超精密机床与关键零部件相关的横向课题；近些年已完成863项目、数控机床国家重大专项、国家自然科学基金面上项目以及其他省部级项目。发表学术论文60余篇，曾获省部级奖励1项，教育部自然科学一等奖1项，其他省部级二等奖1项，申报发明专利40余项，培养博士、硕士研究生40余名。工作经历 2009.04 - 至今哈尔滨工业大学精密工程研究所博士生导师 2008.11 - 至今哈尔滨工业大学精密工程研究所教授 2004.12 - 至今哈尔滨工业大学精密工程研究所副所长 2004.12 - 2008.11 哈尔滨工业大学精密工程研究所副教授 1999.12 - 2000.07 Lucent Technologies at Swindon, UK 软件工程师 1999.01 - 2004.12 青岛朗讯科技通讯设备有限公司软件工程师教育经历 1989年9月 – 1993年7月哈尔滨工业大学机械工程系，本科 1993年7月 – 1999年1月哈尔滨工业大学机械工程系，硕博连读

研究领域

1、X射线光学元件制造技术 X射线空间应用属世界科技前沿，X射线聚焦光学元件作为其核心载荷，要求具有百微米级的厚度、纳米级的精度，是光学加工领域面临的重大技术挑战。本人承担了 “eXTP天文台重大背景型号”和“EP卫星”的X射线聚焦镜研制任务，突破了温度场扰动下工艺系统纳米级响应特性建模及误差抑制、跨尺度误差评价及其对X射线光学性能影响评测等关键技术，建成了国内首条（目前唯一）X射线聚焦镜洁净生产线，成功研制国内首套满足卫星载荷性能指标的聚焦镜样机，打破了NASA和ESA的技术垄断，为我国空间探测重大科学工程提供了重要的技术支撑。 2、高端超精密加工装备与工艺研发针对我国超精密机床等高端装备研发面临的关键功能部件制造瓶颈，突破了“低回转误差高刚性气膜最优截面求解”等关键理论问题，研制成功了系列纳米精度静压轴承（优于10nm）并实现小批量生产，关键技术指标达到国际先进水平。在超精密机床整机研制方面，针对平板显示产品生产中存在的核心加工设备严重依赖进口的问题，在“04”专项支持下，成功研制了国内首台大型辊筒模具超精密加工机床，实现了国产化替代。承担了某新型传感器零件制造技术攻关任务，成功研制了整套超精密微细加工、检测装备及工艺，该成果在相关产品中得到了应用。鉴定结论认为“微力反馈控制的微结构研抛技术及装备达到了国际领先水平”，获得2021年省部级科技进步二等奖。 3、大气等离子体加工技术在国内率先开展了大气等离子体加工技术研究，属于光学加工领域的重要技术创新。在自然科学基金、“04”专项课题等的支持下，开发了原创性的大气等离子体加工装置与工艺（发明专利授权24项），加工出了世界首片带有位相结构的多功能屏蔽片，通过了实际测试，为在重大科学工程中采用具有中国特色的光路设计提供了技术支持。研发的大气等离子体加工机床已在相关单位得到应用。

近期论文

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大气等离子体化学加工 Jin, H., Xin, Q., Li, N., Jin, J., Wang, B., Yao, Y. The morphology and chemistry evolution of fused silica surface after Ar/CF 4 atmospheric pressure plasma processing. Applied Surface Science, Vol. 286, 405-411.（通讯作者，SCI，IF：2.538）金江, 李娜, 徐录, 王波, 金会良. 大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究. 光谱学与光谱分析, 2013（2）, 067.（通讯作者，SCI，IF：0.27） Zhang, J., Li, B., Wang, B., Dong, S. Surface Quality Improvement of Atmospheric Pressure Plasma Polishing (APPP) in Machining of Silicon Ultra-Smooth Surfaces. Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Vol. 6(4), 464-471.（SCI，IF：0.28） Jin, H.L., Wang, B, Spectroscopic characterization of fluorine atoms in atmospheric pressure He/SF6 plasma, Chinese Optics Letters, 2011, Vol. 9, Issue 6.（通讯作者，SCI，IF：0.804） Y. X. Yao, B. Wang, J. H. Wang, Chemical Machining of Zerodur Material with Atmospheric Pressure Plasma Jet, CIRP Annuals, 2010, Vol. 59, Issue 1. （SCI，IF：1.60）王波，张巨帆，董申，原子发射光谱分析技术在大气等离子体抛光工艺研究中的应用，光谱学与光谱分析，2008，Vol. 28， No. 7.（SCI，IF：0.843） B. Wang, J. F. Zhang, S. Dong, New Development of Atmospheric Pressure Plasma Polishing, Chinese Optics Letters, 2009, Vol. 7, No. 6.（SCI，IF：0.804） J. F. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis of Factors Impacting Atmospheric Pressure Plasma Polishing, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2008, Vol. 9, No. 2. （学生为第一作者，SCI，IF：0.45） Li, N., Wang, B., Jin, H. L. Study on the Key Influencing Factors in Atmospheric Pressure Plasma Processing of Fused Silica. 哈尔滨工业大学学报, 2014(5). （EI，学生为第一作者） Xin, Q., Wang, B., Jin, H. L., Li, N., Li, D., Li, G. Study on the Key Parameters in Etching of Fused Silica using Atmospheric Inductively Coupled Plasma. Key Engineering Materials, 2014, Vol. 625, pp. 469-474. （EI，学生为第一作者） Li, D., Wang, B., Wang, J., Xin, Q. Study of Form Control Algorithm in Atmospheric Pressure Plasma Processing. Key Engineering Materials. 2014, Vol. 620, pp. 49-54. （EI，学生为第一作者）李娜, 王波, 金会良, 袁野, 杨允利. 微结构光学零件的大气等离子体数控加工. 光学精密工程, 2013, 21(4), 934-940. （EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis on the material removal stability for the finishing of the optical surface using atmospheric pressure plasma jet, Proceedings of SPIE, 2010.4, Vol. 7655（EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Proposal for Machining Optical Free Form Surfaces Using Atmospheric Pressure Plasma Jet, Advanced Materials Research, 2011,7, Vol. 291-294（EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis on principle and key techniques of deterministic finishing, Proceedings of the Second International Conference on Mechanic Automation and Control Engineering (MACE), 2011.7（EI，学生为第一作者） H.L. Jin, B. Wang, Effect on surface roughness of zerodur material in atmospheric pressure plasma jet processing, Proceedings of The 5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing, 2010.4 （EI，学生为第一作者） H.L. Jin, B. Wang, Research on removal characteristic of the optical quartz with atmospheric pressure plasma jet, Key Engineering Materials, 2011.11 （EI，学生为第一作者） J.F. Zhang, B. Wang, S. Dong, Process Monitoring and Analysis in the Atmospheric Pressure Plasma Polishing (APPP) Method, Prodeeding of SPIE, 2008, Vol. 6722（EI，学生为第一作者）张巨帆，王波，董申，用于超光滑表面加工的常压低温等离子体抛光系统设计，纳米技术与精密工程，2008，Vol 6，No. 3（EI，学生为第一作者） Zhang Jufan, Wang Bo, Dong Shen, The design of the atmospheric pressure plasma torch used for polishing ultra smooth surfaces, Key Engineering Materials, 2008, Vol. 364-366. （EI，学生为第一作者） Jufan Zhang, Bo Wang, Shen Dong, Process monitoring and analysis of atmospheric pressure plasma polishing method, Proceedings of SPIE, 2007, Vol. 6722. （EI，学生为第一作者）张巨帆，王波，董申，超光滑表面加工方法的新进展，光学技术，2007， Vol. 33， No. 11 （EI，学生为第一作者）张巨帆，王波，董申，大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用，光学精密工程，2007，Vol. 15，No. 11（EI，学生为第一作者）高性能超精密机床 B. Wang, P. Zhang, Y. C. Liang, Development of the control system for three-axis ultraprecision compact micromilling machine, Journal of Vacuum Science and Technology, 2009, Vol. 27, No. 3. （SCI，IF：1.44） P. Zhang, B. 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X., Li, G., Wang, B., Qiao, Z., Lv, L. Fabrication of Microstructured Surfaces by Five-Axis Ultra Precision Machine Tool. Key Engineering Materials. 2014, Vol. 625, pp. 187-191. （EI，学生为第一作者）王延深, 张征, 王波. 钛合金 TC4 在连续光纤激光加热下的表面温度场分布研究. 光学学报, 2014(13), 256-262. Peng Zhang, Bo Wang, Mark J. Jackson, Xing Mao. A Novel Desktop Device for Lapping Milled Micro Thin-walled Structures. Advanced Materials Research. 2011,Vol.325: 508-513 （EI，学生为第一作者） Peng Zhang, Bo Wang, Yingchun Liang. Fabrication of microstructure array by means of ultra-precision micro-milling. Proc. of SPIE. 2010,Vol. 7655：0U （EI，学生为第一作者） Zhao Yan, Wang Bo, Liang Yingchun, Analysis and prediction of surface roughness in micro-end milling of Al 2A12, Nanotechnolgoy and Precision Engineering, 2008, Vol. 6,No. 2. （EI，学生为第一作者） Liang Yingchun, Zhao Yan, Wang Bo, State of the art of microcutting technology for the manufacture of microparts, Journal of Jilin University(Engineering and Technology Edition), 2008, Vol. 38, No. 5. （EI） Wang bo, Zhao Qingliang, Wang Langping, Application of atmospheric pressure plasma in the ultrasmooth polishing of SiC optics, Materials Science Forum, 2006, Voll 532-533（EI）王延深，王波，董申，高能量飞秒激光脉冲对硅和玻璃的附带损伤研究，中国机械工程学报，2006， Vol. 42， No. SUPPI.（EI）

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