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个人简介

教育经历 2009.09-2013.07 哈尔滨工程大学 探测制导与控制技术 学士学位 2013.09-2015.07 哈尔滨工业大学 控制科学与工程 硕士学位 导师:胡庆雷教授(国家高层次人才) 2015.09-2020.10 哈尔滨工业大学 仪器科学与技术 博士学位 导师:谭久彬教授(中国工程院院士) 工作经历 2020.12-2022.12 超精密光电仪器工程研究所 讲师 2021.05- 仪器科学与技术学科 硕士生导师 2022.12- 超精密光电仪器工程研究所 副教授 2023.03- 仪器科学与技术学科 博士生导师 2020.11- 控制科学与工程博士后流动站 师资博士后 合作导师:吴立刚教授(国家高层次人才) 荣誉奖励 2023年获黑龙江省博士后特别资助 2023年获中国仪器仪表学会技术发明一等奖(序4) 2023年获中国仪器仪表学会金国藩青年学子奖 2023年入选黑龙江省高层次人才D类 2022年入选中国科协青年人才托举工程 2022年入选哈工大青年拔尖人才选聘计划

研究领域

超精密装备控制技术

近期论文

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通讯,Lithographic stepping trajectory planning for residual vibration suppression: an asymmetric S-curve method, IWAPS(国际先进光刻技术研讨会), 2023, 特邀报告 通讯,Iterative control decoupling tuning by feedforward compensation for precision motion stage, IEEE Data Driven Control and Learning Systems Conference, 2023, 口头报告. 1作,Enhancing projection based iterative learning control: a set-membership approach,ISA Transactions,2023,JCR Q1区. 2022年IF=7.3 通讯,Singular value decomposition based learning identification for linear time-varying systems: from recursion to iteration,International Journal of Robust and Nonlinear Control, 2023,JCR Q1区. 1作,Self-tuning nonlinear iterative learning for a precision testing stage: a set-membership approach,IEEE Transactions on Industrial Informatics,2022,JCR Q1区. 2022年IF=12.3 1作,Finite time stable inversion in discrete frequency domain: accuracy analysis, improvement and application to wafer stage,ISA Transactions,2022,JCR Q1区. 2022年IF=7.3 通讯,面向IC光刻的超精密运动台控制技术,激光与光电子学进展-光刻技术专题,2022,特邀综述. 1作,Kalman-filtering based iterative feedforward tuning in presence of stochastic noise: with application to a wafer stage,IEEE Transactions on Industrial Informatics,2019,JCR Q1区. 2022年IF=12.3 1作,Method to improve convergence performance of iterative learning control systems with bounded noise,Journal of the Franklin Institute,2019,JCR Q1区. 1作,Mean-square error constrained approach to robust stochastic iterative learning control,IET Control Theory & Applications,2018,JCR Q1区.

学术兼职

《Instrumentation》青年编委 《计量科学与技术》青年编委 《International Journal of Engineering Sciences and Technologies》编委

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