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宋法质 副研究员 收藏 完善纠错
哈尔滨工业大学    仪器科学与工程学院
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个人简介

主要研究方向为面向光刻机等高端制造装备的超精密运动精度调控技术，目前在该领域已授权多项发明专利、软件著作权，于IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE/ASME Transactions on Mechatronics、IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems等知名期刊发表多篇学术论文，主持国家自然科学基金等科研项目，参与国家科技重大专项等重大项目。 讲授课程 自动控制及智能化理论基础，56学时

研究领域

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围绕高端制造装备超精密运动精度调控技术，本实验室研究方向涵盖以下内容： 1、多轴超精密运动台解耦控制方法 2、冗余驱动控制方法 3、运动轨迹规划与整形方法 4、超精密前馈-反馈复合控制方法 5、精密运动台多源扰动力抑制方法 6、基于学习的精密运动控制方法 7、复杂装备多运动体协同控制方法

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