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个人简介

教育背景 本科,北京理工大学,专业:微电子学 硕士,北京理工大学,专业:半导体器件与物理 硕士,美国塔夫茨大学(Tufts University),专业:光电子学 博士,美国卡内基梅隆大学(Carnegie Mellon University),专业:电子与计算机工程 工作经历 1992-1996年,清华大学微电子研究所,助研/讲师 2002-2007年,美国佛罗里达大学电子与计算机工程系,助理教授 2007-2011 年,美国佛罗里达大学电子与计算机工程系,副教授 2007-2020 年,美国佛罗里达大学电子与计算机工程系,终身教授 2011-2020 年,美国佛罗里达大学电子与计算机工程系,正教授 2020年-至今,北京理工大学集成电路与电子学院,教授 2021年-至今,北京理工大学重庆微电子中心,主任,首席科学家 兼职 2001年5-8月,德国博世公司北美研究中心,实习工程师 2005-2020年,美国佛罗里达大学生物医学工程系,兼职教授 2005-2020年,美国佛罗里达大学Shands癌症中心,兼职教授 2007/2008/2009夏季,美国空军研究实验室,暑期研究员 2008-2012年,IEEE Gainsville分区主席 2009-2014 年,美国Moffit 癌症中心, 兼职教授 2013年1-5月,法国Femto-ST研究院及弗朗什-孔泰大学,访问教授 2018-2019年,北京理工大学信息与电子学院,客座教授 2018-2021年,浙江大学生物医学工程与仪器工程学院,客座教授

研究领域

MEMS、CMOS-MEMS 集成、集成无源器件、三维集成、惯性传感器、光学MEMS、声学MEMS、生物光子学、光学内窥显微成像、光通信、激光雷达、微型红外/近红外光谱仪

近期论文

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D Wang, D Zheng, SJ Koppal, B Sun, H Xie, A Monolithic Forward-View Optical Scanner by a Pair of Upright MEMS Mirrors on a SiOB for LiDAR Applications, Journal of Microelectromechanical Systems 30 (5), 791-798 (2021). H Wang, H Yang, Z Chen, Q Zheng, H Jiang, PXL Feng, H Xie, Development of Dual-Frequency PMUT Arrays Based on Thin Ceramic PZT for Endoscopic Photoacoustic Imaging, Journal of Microelectromechanical Systems 30 (5), 770-782 (2021). Y An, B Sun, P Wang, L Xiao, H Liu, H Xie, A 1× 20 MEMS mirror array with large scan angle and low driving voltage for optical wavelength-selective switches, Sensors and Actuators A: Physical 324, 112689 (2021). Y Cao, P Wang, J Li, H Xie, Temperature stability study of resonant angular scanning micromirrors with electrostatic comb-drive actuators, Sensors and Actuators A: Physical 318, 112525 (2021). L Xiao, Y Ding, P Wang, H Xie, Analog-controlled light microshutters based on electrothermal actuation for smart windows, Optics Express 28 (22), 33106-33122 (2020). L Zhou, X Yu, PXL Feng, J Li, H Xie, A MEMS lens scanner based on serpentine electrothermal bimorph actuators for large axial tuning, Optics Express 28 (16), 23439-23453 (2020). H Wang, Z Chen, H Yang, H Jiang, H Xie, A ceramic PZT-based pMUT array for endoscopic photoacoustic imaging, Journal of Microelectromechanical Systems 29 (5), 1038-1043 (2020). D Wang, L Thomas, S Koppal, Y Ding, H Xie, A low-voltage, low-current, digital-driven MEMS mirror for low-power LiDAR, IEEE Sensors Letters 4 (8), 1-4 (2020). H Wang, Z Chen, H Xie, A high-SPL piezoelectric MEMS loud speaker based on thin ceramic PZT, Sensors and Actuators A: Physical 309, 112018 (2020). D Wang, SJ Koppal, H Xie, A Monolithic Forward-View MEMS Laser Scanner With Decoupled Raster Scanning and Enlarged Scanning Angle for Micro LiDAR Applications, Journal of Microelectromechanical Systems 29 (5), 996-1001 (2020).

学术兼职

Sensors & Actuators A,SCI,副主编,2018 -至今 IEEE Sensors Letters,SCI,副主编,2018-至今 Micromachines,SCI,编委,2017 - 至今 International Journal of Optomechatronics,SCI,编委,2016 - 至今

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