个人简介

许开东，教授，博导。集成电路制造行业专家，现任江苏鲁汶仪器有限公司董事长兼总经理，国家级专家人才。出生于1977年3月，1999年6月获北京大学化学专业学士学位， 2005年1月获比利时鲁汶大学（Catholic University of Leuven）化学专业博士学位，2004年11月-2010年8月于奥地利的科林研发（Lam）担任项目经理、资深研发经理；2010年8月-2015年9月于比利时微电子所（IMEC）担任等离子刻蚀组研发主管、经理；2015年回国创业，针对半导体装备制造和刻蚀工艺等关键技术领域展开攻坚，进行磁随机存储器专用刻蚀机装备研发以及磁性金属多层膜刻蚀工艺研发，以解决极具难度的大尺寸晶圆、高图形密度、多种膜层材料等多种工艺要求，推动MRAM规模化生产。