付军 - 清华大学 - 集成电路学院

个人简介

付军，博士，1992年7月毕业于清华大学电子工程系并获得工学学士学位。1998年6月毕业于清华大学微电子学研究所并获得工学博士学位。1999年6月至2001年9月在荷兰Delft 技术大学（TU-Delft）的微电子及亚微米技术研究所（DIMES）从事半导体集成电路工艺和器件仿真与优化的博士后研究工作。2001年9月至2006年8月在德国X-FAB Semiconductor Foundries AG 公司负责SiGe BiCMOS和RF CMOS等半导体集成电路工艺开发工作。2006年9月回国，受聘为副研究员在清华大学微电子学研究所固体器件与集成技术研究室工作，其后于2016年加入硅基智能传感器研究团队。在2021年成立清华大学集成电路学院后，加入学院下属集成纳电子科学研究所。作为负责人承担过包括国家重点研发计划、国家科技重大专项、国家发改委产业化专项等研究课题或子课题；发表期刊和会议学术论文共计70余篇；授权中国发明专利30项（第一发明人14项），授权美国发明专利3项（第一发明人2项）。

研究领域

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面向通信、雷达、传感以及空间探测等应用领域，与SiGe HBT、SiGe BiCMOS 、RF CMOS、声表面波（SAW）谐振器等有源和无源器件相关的硅基微波毫米波射频集成电路工艺开发、器件特性表征建模以及电路设计等方面的研究