个人简介
华中科技大学机械学院机电系和数字制造装备与技术国家重点实验室教授，博士生导师。1990年北京化工大学获化学工程本科毕业，2001年获美国加州大学尔湾分校材料科学与工程专业博士学位。2001-2004年在美国硅谷MegaSense和Sensarray Inc.从事微机电系统领域的研发工作。2005年加入华中科技大学，主要研究领域是微纳米制造和纳米测量技术及新型微纳器件开发，是教育部长江学者创新团队“微纳米制造与纳米测量技术”的核心成员。参与和承担了国家自然科学基金， 973，863和重大仪器专项等多项国家级科研课题项目，发表论文100余篇，申请国家专利20余项。
开设课程
本科生课程：《工程测试技术》《MEMS封装技术基础》
研究生课程（英文教学课程）：《微纳测试技术》
承担的科研项目：
国家自然科学基金
[1]“面向微超级电容的高性能三维复合微纳电极规模化制造方法”（2013-2014）
[2]“面向生物燃料电池应用的三维碳微纳集成结构规模化制造新方法”（2012-2015）
[3]“一种新的三维悬浮碳微纳结构制备方法研究”（已结题）
[4]“面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法”（已结题）973项目子课题
[5]“多场作用下三维密排阵列微互连结构形成及性能调控”（2015-2018）
[6]“高密度倒装键合中的多物理量协同控制机制与实现”（已结题）
[7] 教育部长江学者创新团队“微纳制造与纳米测量”（2014-2016）
[8] 重大仪器专项子课题“基于广义椭偏仪的光伏材料测量应用开发”（2012-1014）
研究领域
微纳制造
光电封装
微纳米测量技术研究
新型微纳器件的开发，主要包括MEMS/NEMS, 微纳传感器，微型超级电容和电池等。
近期论文
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[1] Shulan Jiang, Tielin Shi, Xiaobin Zhan, Hu Long, Shuang Xi, Hao Hu, Zirong Tang*, High-performance all-solid-state flexible supercapacitors based on two-step activated carbon cloth, Journal of Power Sources , 272, 16-23, 2014.
[2] Shulan Jiang, Tielin Shi, Yang Gao, Hu Long, Shuang Xi, Zirong Tang*, Fabrication of a 3D micro/nano dual-scale carbon array and this demonstration as the microelectrodes for supercapacitors, Journal of Micromechanics and Microengineering, 24(4), 045001(9pages), 2014.
[3] Shulan Jiang, Tielin Shi, Dan Liu, Hu Long, Shuang Xi, Fengshun Wu, Xiaoping Li, Qi Xia, Zirong Tang*, Integration of MnO2 thin film and carbon nanotubes to three-dimensional carbon microelectrodes for electrochemical microcapacitors, Journal of Power Sources, 262, 494-500, 2014.
[4] Hu Long, Tielin Shi, Shulan Jiang, Shuang Xi, Rong Chen, Shiyuan Liu, Guanglan Liao, Zirong Tang*, Synthesis of nanowire self-assembled hierarchical ZnCo2O4 shell/Ni current collector core as binder-free anodes for high-performance Li-ion batteries, Journal of Materials Chemistry A, 2, 3741-3748, 2014.
[5] Wei Zhu, Tielin Shi, Zirong Tang*, Bo Gong, Guanglan Liao, Shiyuan Liu, Numerical analysis of transmission efficiency for parabolic optical fiber nano-probe, Optics Express, 21, 28103-28110, 2013.
[6]Wei Zhu, Tielin Shi, Zirong Tang*, Bo Gong, Guanglan Liao, John Tully, Dynamic selective etching: a facile route to parabolic optical fiber nano-probe, Optics Express, 21(6), 6919–6927, 2013.
[7]Shuang Xi, Tielin Shi, Dan Liu, Liangliang Xu, Hu Long, Wuxing Lai, Zirong Tang*, Integration of carbon nanotubes to three-dimensional C-MEMS for glucose sensors, Sensors and Actuators A: Physical, 198, 15-20,2013.
[8]Zirong Tang*, Tielin Shi, Frank G. Shi, Advanced Packaging of Optoelectronic Devices, Wiley Encyclopedia of Electrical and Electronics Engineering, pp1-27, DOI: 10.1002/047134608X.W8193, Jan. 2013.
[9]Lei Zhang, Tielin Shi, Zirong Tang*, Dan Liu, Shuang Xi，Stress-driven and Carbon-assisted Growth of SiOxNy Nanowires on Photoresist-derived Carbon Microelectrode, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 21(6), 1445-1451, 2012.
[10]Long Hu, Xi Shuang, Liu Dan, Shi Tielin, Xia Qi, Liu Shiyuan, Tang Zirong*，Tailoring diffraction-induced light distribution toward controllable fabrication of suspended C-MEMS，Optics Express, 20(15), 17126-17135, 2012.
[11] Dan Liu, Tielin Shi, Zirong Tang*, Lei Zhang, Shuang Xi, Xiaoping Li, Wuxing Lai, Carbonization-assisted integration of silica nanowires to photoresist-derived three-dimensional carbon microelectrode arrays, Nanotechnology, 22(46), 465601-465608, 2011.
[12]Shuang Xi, Tielin Shi, Lei Zhang, Dan Liu, Wuxing Lai, Zirong Tang*, Growth of highly bright-white silica nanowires as diffusive reflection coating in LED lighting, Optics Express, 19(27), 26507-26514, 2011.
[13]Wei Ma, Tielin Shi, Zirong Tang*, Shiyuan Liu, Rizwan Malik, Lei Zhang, High-throughput dielectrophoretic manipulation of bioparticles within fluids through biocompatible 3D microelectrode array, Electrophoresis, 32(5), 494-505, 2011.
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