个人简介
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
080401-精密仪器及机械
招生方向
先进光刻；极紫外光刻
光学检测
精密仪器
教育背景
2001-09--2009-01 清华大学 博士
1996-09--2000-07 浙江大学 本科
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子所, 研究员
2009-05~2018-10,中国科学院光电研究院, 研究员
专利成果
（ 1 ） 激光器温度稳定控制系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310018462.1
（ 2 ） 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310275992.4
（ 3 ） 一种极紫外辐照材料测试系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL201310319441.3
（ 4 ） 一种反射式光学元件温控系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310665292.6
（ 5 ） 一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310538366.X
（ 6 ） 一种真空内局部加热方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104619055B
（ 7 ） 一种用于激光光源的液态金属靶产生装置, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201310182436.2
（ 8 ） 一种高频、高速的微米级液滴产生装置, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201310182453.6
（ 9 ） 一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201310334223.7
（ 10 ） 一种螺旋气流动态气体锁, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201310343253.4
（ 11 ） 一种动态气体锁, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL201310320652.9
（ 12 ） 一种真空密封性能测量装置及方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610532002.4
（ 13 ） 一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610911295.7
（ 14 ） 一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610862031.7
（ 15 ） 真空环境中的弹性金属矩形密封装置, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610862026.6
（ 16 ） 一种电子系统的自散热结构, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610912666.3
（ 17 ） 一种极紫外光源性能参数的测量系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105258925A
（ 18 ） 一种聚合物辐照损伤测试装置与测试方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105223126A
（ 19 ） 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610548432.5
（ 20 ） 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104597115A
（ 21 ） 一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201611119916.4
（ 22 ） 一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104932089A
（ 23 ） 材料分压放气率测量系统及其测量方法, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103267705A
（ 24 ） 一种密封式散热装置及其制造方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105578849A
（ 25 ） 真空密封结构及其制造方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105636389A
（ 26 ） 一种分压漏率测量装置及方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106017819A
（ 27 ） 一种真空系统中散热件的密封散热装置, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106028727A
（ 28 ） 一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置, 实用新型, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201320268368.7
（ 29 ） 一种微米级高速液滴产生装置, 实用新型, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201320268650.5
（ 30 ） 材料分压放气率测量装置, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL201320268410.5
（ 31 ） 一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统, 实用新型, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL201320470778.X
（ 32 ） 真空密封件分压漏率测量装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201320390653.6
（ 33 ） 一种极紫外辐照损伤测试设备, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201320454021.1
（ 34 ） 用于极紫外光刻机的动态气体锁, 实用新型, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL201320453607.6
（ 35 ） 一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁, 实用新型, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL201320482568.2
（ 36 ） 一种材料分压放气测量装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201320613449.6
（ 37 ） 极紫外光刻反射式光学元件温控装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201320807402.3
（ 38 ） 一种碎屑收集装置和包含该收集装置的EUV光源系统, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201320689196.0
（ 39 ） 一种用于EUV光刻机的真空反射镜片安装和调节装置, 实用新型, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL201520103538.5
（ 40 ） 一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201520104669.5
（ 41 ） 四维EUV反射镜装调装置, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201420596121.2
（ 42 ） 一种液滴阵列产生器, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201520485591.6
（ 43 ） 一种材料分压放气率测试器, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL201520527517.6
（ 44 ） 一种极紫外光源性能参数的测量系统, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201520900632.3
（ 45 ） 一种聚合物辐照损伤测试装置, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201520877033.4
（ 46 ） 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201620185955.3
（ 47 ） 用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201620189119.2
（ 48 ） 气体锁验证仪, 实用新型, 2016, 第 5 作者, 专利号: 201620536564.1
（ 49 ） 一种在线式过程气体采样分析装置, 实用新型, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201620227591.0
（ 50 ） 一种真空密封件分压漏率测量装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL201620640979.3
（ 51 ） 一种电子学系统的真空密封散热装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201620623508.1
（ 52 ） 一种密封容器的真空密封性能测量装置, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201620713855.3
（ 53 ） 在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201620734229.2
（ 54 ） 一种矩形密封装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201621090592.1
（ 55 ） 一种弹性金属矩形密封装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201621090563.5
（ 56 ） 一种材料辐射致气体渗透的测试装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201621138020.6
（ 57 ） 一种真空密封散热结构, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201621138714.X
（ 58 ） 一种材料辐射致放气的在线测试装置, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201621345502.9
（ 59 ） 一种多元合金薄膜的制备装置和制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN2017/116599
（ 60 ） 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104391367B
（ 61 ） 一种在线式气体分析装置及方法, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN105784941B
（ 62 ） 一种气体放电电极结构, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL201110319546.X
（ 63 ） 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105842997A
（ 64 ） 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 发明, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106094444A
（ 65 ） 多元合金薄膜的制备装置及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711125054.0
（ 66 ） 一种超细粉末的制备装置和制备方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810188536.9
（ 67 ） 一种准分子激光器的温度控制方法和系统, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: 201310019613.5
（ 68 ） 材料分压放气测量系统及其测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103487495A
（ 69 ） 多元合金薄膜的制备装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201721521543.3
（ 70 ） 控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL201320026549.9
（ 71 ） 一种激光器温控系统, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL201320028516.8
（ 72 ） 一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置, 实用新型, 2017, 第 5 作者, 专利号: ZL201620536864.X
（ 73 ） 一种超细粉末的制备装置和制备方法, 实用新型, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201820316439.9
（ 74 ） 气体分压的在线测量装置及其在线测量方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910507546.9
（ 75 ） 一种真空密封性能测量装置及方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: ZL201610532002.4
（ 76 ） 一种真空系统中散热件的密封散热装置, 发明, 2019, 第 3 作者, 专利号: ZL201610457964.8
（ 77 ） 一种密封式散热装置及其制造方法, 发明, 2019, 第 3 作者, 专利号: ZL201610137881.0
（ 78 ） 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: ZL201610548432.5
（ 79 ） 一种极紫外光辐照致材料氢脆性能的测试系统, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911171755.7
（ 80 ） 一种极紫外光刻胶放气污染测试系统, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911171642.7
（ 81 ） 一种极紫外光学元件性能参数测试系统, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911171641.2
（ 82 ） 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN106248564B
科研项目
（ 1 ） EUV基础共性技术研究, 主持, 国家级, 2012-01--2020-12
（ 2 ） EUVL动态真空与热环境技术研究, 主持, 国家级, 2012-01--2020-12
（ 3 ） 高NA投影曝光光学系统及其产业化发展研究, 主持, 国家级, 2010-07--2017-12
（ 4 ） 照明系统接口及光路设计方案研究, 主持, 国家级, 2009-06--2018-12
（ 5 ） 193nm光刻镜头静态曝光检测系统方案研究, 主持, 国家级, 2009-06--2018-12
（ 6 ） 综合测试平台定制环境控制系统, 主持, 院级, 2018-01--2020-12
（ 7 ） 表面检测技术研究, 主持, 部委级, 2021-01--2023-12
京公网安备 11010802027423号