江锐 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080300-光学工程 080902-电路与系统 085400-电子信息招生方向准分子激光应用技术、新原理装备技术电子系统设计自动化激光技术教育背景 2002-09--2008-06 美国硕士、博士研究生 1996-09--2000-07 清华大学本科工作简历 2017-07~现在, 中国科学院微电子研究所, “****”研究员 2008-07~2017-06,xx知名公司, 首席技术专家 2002-09~2008-06,美国, 硕士、博士研究生 1996-09~2000-07,清华大学, 本科奖励信息（1）第三批“新创工程.亦麒麟”领军人才, , 省级, 2018 （2）北京市“海聚计划”特聘专家称号, , 省级, 2018 （3）中国科学院2017年度率先行动“**技术”技术英才, , 省级, 2018 专利成果（ 1 ） SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC GAS OPTIMIZATION IN A TWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM, 2014, 第 1 作者, 专利号: WOUS12043541 （ 2 ） System and Method for Automatic Gas Optimization in a Two-Chamber Gas Discharge Laser System, 2013, 第 4 作者, 专利号: WOUS12040933 （ 3 ） Wafer-based light source parameter control, 2017, 第 5 作者, 专利号: WOUS17055181 （ 4 ）一种光谱稳定的线宽调整装置及系统, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209446454U （ 5 ）检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113630.5 （ 6 ）一种激光加工方法和设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113641.4 （ 7 ）一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN202010127468.2 （ 8 ）一种工件预处理设备及其预处理方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010374181.X （ 9 ）一种工件预处理设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202020727480.2 （ 10 ）一种线宽压窄模块, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN209169621U （ 11 ）一种准分子激光器温度控制装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209561850U （ 12 ）一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN109638629B （ 13 ）一种用于准分子激光器的镜片调整装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209674118U （ 14 ）带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208904391U （ 15 ）一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN108507686B （ 16 ）一种带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208571210U 科研项目（ 1 ） XX曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 主持, 国家级, 2016-01--2022-12 （ 2 ） XX曝光光源产品开发, 主持, 国家级, 2013-01--2021-12 （ 3 ）深紫外准连续激光光源研制, 主持, 国家级, 2018-01--2021-06 （ 4 ） XX核心元器件国产化课题预算, 参与, 国家级, 2020-01--2022-12

近期论文

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（1） Corrosion behavior of aluminum in fluoride-containing discharge condition for excimer laser structure application, Materials Research Express, 2019, 通讯作者（2） Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser irradiation at 193 nm, SPIE PACIFIC-RIM LASER DAMAGE, 2018, 通讯作者（3） Investigation on gas medium parameters for an ArF excimer laser through orthogonal experimental design, SPIE SOLID STATE LASERS XXVI, 2018, 通讯作者（4） Translation of Gbps Phase Modulated Optical Signal from Near-Infrared to Visible Band, IEEE Journalof Lightwave Technology, 2018, 第 1 作者（5） Continuous-Wave Band Translation between the Near-Infrared and Visible Spectral Ranges, IEEE Journal of Lightwave Technology, 2007, 第 1 作者（6） Parametric Wavelength Conversion from Conventional Near-Infrared to Visible Band, IEEE Photonic Technology Letters, 2006, 第 1 作者