丁金滨 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080300-光学工程 080401-精密仪器及机械 085400-电子信息招生方向激光技术精密仪器与机械光电测量技术奖励信息（1）第四届北京市发明专利奖, 三等奖, 省级, 2016 （2）第六届中科院北京分院科技成果转化奖, 特等奖, 院级, 2016 （3）第十七届中国专利奖优秀奖, , 部委级, 2015 专利成果（ 1 ）基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103151679A （ 2 ）一种准分子激光器用贯流风机叶轮, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102777416B （ 3 ）光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103259159A （ 4 ）激光器放电腔的六自由度调节机构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103269009B （ 5 ）一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610457955.9 （ 6 ）用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103259160A （ 7 ）一种放电腔内的气动结构, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102779706B （ 8 ）具有微流道结构的放电腔及气体激光器, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN102842840B （ 9 ）用于准分子激光器的热交换器, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103682956B （ 10 ）双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器, 2017, 第 2 作者, 专利号: JP6254178 （ 11 ）一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810129363.3 （ 12 ）一种用于激光器的快门装置以及激光器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810132208.7 发表著作（ 1 ） ANSYS Workbench 18.0有限元分析案例详解, 清华大学出版社, 2019-12, 第 1 作者科研项目（ 1 ） ArF 光源产品整机设计、集成制造与试验, 参与, 国家级, 2013-01--2021-12 （ 2 ）激光放电腔研发, 参与, 国家级, 2013-01--2021-12 （ 3 ）产品可靠性寿命研究, 参与, 国家级, 2013-01--2021-12 （ 4 ）浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2022-12

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（1）高重频准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究, 中国激光, 2019, 第 2 作者（2） Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017, 第 2 作者