陈进新 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080300-光学工程 080201-机械制造及其自动化招生方向先进光刻精密系统机械设计、极紫外光刻真空集成电路光刻技术教育背景 2010-09--2015-07 中国科学院大学博士 2005-09--2008-07 中国科学院研究生院硕士 2000-09--2004-07 北京航空航天大学本科工作简历 2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师 2017-06~2018-07,美国SLAC国家加速器实验室, 访问学者 2015-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师 2010-10~2015-11,中国科学院光电研究院, 工程师 2010-09~2015-07,中国科学院大学, 博士 2008-07~2010-09,中国科学院光电研究院, 助理工程师 2005-09~2008-07,中国科学院研究生院, 硕士 2000-09~2004-07,北京航空航天大学, 本科专利成果（ 1 ）一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610391179 （ 2 ）一种极紫外辐照材料测试系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310319441 （ 3 ）一种动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310320652 （ 4 ）一种螺旋气流动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310343253 （ 5 ）一种气体激光器放电腔的电极机构, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201210266544 （ 6 ）一种新型气体放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210337140 （ 7 ）一种气体放电激光光源, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210333164 （ 8 ）一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201610390695 （ 9 ）极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510076613 （ 10 ）一种极紫外反射镜片的装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510075790 （ 11 ）一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410545200 科研项目（ 1 ） EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 主持, 国家级, 2018-01--2021-12

近期论文

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（1） 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum, MME, 2017, 第 1 作者（2）极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究, 光学学报, 2017, 第 1 作者（3）极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究, 激光与光电子学进展, 2017, 第 1 作者（4）极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究, 激光与光电子学进展, 2016, 第 1 作者（5）极紫外真空动态气体锁流场分析与研究, 真空科学与技术学报, 2015, 第 1 作者