个人简介
招生专业
080805-电工理论与新技术
招生方向
微纳加工与检测技术研究
AFM成像技术研究
电子束技术研究
教育背景
2007-04--2011-05 中国科学院研究生院 工学博士学位
2000-09--2003-07 北京工业大学 硕士学位
1992-09--1996-07 南京航空航天大学 学士学位
工作简历
2007-04~2011-05,中国科学院研究生院, 工学博士学位
2003-08~现在, 中国科学院电工研究所, 高级工程师
2000-09~2003-07,北京工业大学, 硕士学位
1996-08~1999-10,中国航空精密机械研究所, 助理工程师
1992-09~1996-07,南京航空航天大学, 学士学位
奖励信息
（1） 辽宁省科学技术进步奖, 二等奖, 省级, 2017
（2） 科学院“现有关键技术人才”奖, 部委级, 2014
（3） 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 三等奖, 省级, 2011
（4） 图形发生器及其在微纳加工中的应用, 三等奖, 省级, 2011
专利成果
（ 1 ） 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310642547.7
（ 2 ） 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL 2012 1 0158927.9
（ 3 ） 基于DSP-6713的M-SEM下位机软件V1.0, 2014, 第 1 作者, 专利号: 2014SR042839
（ 4 ） 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL2009 1 0084022.X
（ 5 ） 扫描探针显微镜进针装置及方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL 2012 1 0265549.4
（ 6 ） 一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810953777.8
科研项目
（ 1 ） 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究, 主持, 国家级, 2014-01--2017-12
（ 2 ） 纳米生物医学共聚焦激发/扫描探针光声成像系统, 参与, 部委级, 2014-10--2016-10
（ 3 ） 现有关键技术人才”计划项目, 主持, 部委级, 2015-01--2017-12
（ 4 ） 基于纳米位移平台的 SPM 扫描系统应用开发及光电子器件测量, 主持, 国家级, 2017-07--2019-06
（ 5 ） 大功率、长寿命、多模式电子枪及阵列研制与增材制造中的应用, 参与, 国家级, 2018-05--2021-04
（ 6 ） 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化, 参与, 国家级, 2018-01--2020-12
（ 7 ） 生物医学场发射扫描电子显微镜, 主持, 部委级, 2018-12--2021-11
近期论文
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（1） 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动, Micro-nanometerscale vibracation in imaging of metrological scanning electron microscope, 光学 精密工程, 2019, 第 4 作者
（2） 计量电镜中纳米位移台控制方法研究, Ｒesearch on control method of nano-displacement table in metrology electron microscope, 电子显微学报, 2019, 第 2 作者
（3） 电子束选区融合成像方法研究, Research on image monitoring method of electron beam selection melting, Materials Science and Engineering, 2019, 第 2 作者
（4） 基于激光干涉方法的扫描电子显微镜线宽测量研究, Study of the Linewidth Measurement with Scanning Electron Microscope Based on Laser Interference principle, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,, 2019, 第 1 作者
（5） Optimal design of Micro-Nano Positioning Stage with wide range and high speed based on flexure structures, the 2017 International Symposium on Materials，Processing, Mechanical Engineering (MPME 2017), 2017, 第 2 作者
（6） 工业原子力显微镜快速进针系统的设计, 现代科学仪器, 2016, 通讯作者
（7） A traceable metrological method with nanometer scale resolution for micro-structure, Key Engineering Materials, 2015, 第 1 作者
（8） Micron and nanometer measuring methods based on metrological scanning electron microscope, Key Engineering Materials, 2014, 第 1 作者
（9） Large scanning range and rapid AFM for biological cell topography imaging, Key Engineering Materials, 2013, 第 1 作者
（10） 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计, 光学 精密工程, 2011, 第 1 作者
（11） 大范围扫描原子力显微镜自动调平控制技术, 仪器仪表学报, 2011, 第 2 作者
学术兼职
2020-06-01-今,全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测分技术委员会, 委员
京公网安备 11010802027423号