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招生专业 081002-信号与信息处理 招生方向 硬件电路

研究领域

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微细加工装备是信息化时代的关键设备,技术要求高,研制难度大,其电控系统尤为复杂。本研究领域包括微细加工装备照明、工件台、对准、检焦等关键单元技术以及微细加工装备整机电控所涉及高速、高精度电控系统关键技术研究。

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