个人简介
招生专业
081002-信号与信息处理
085208-电子与通信工程
招生方向
声学与振动MEMS
压电薄膜与器件
教育背景
2004-09--2009-07 中国科学院声学研究所 博士
1999-09--2002-03 北京理工大学机械工程与自动化学院 硕士
1995-09--1999-07 北京理工大学机械工程与自动化学院 学士
工作简历
2018-07--今, 中国科学院声学研究所 研究员
2007-01--2018-07, 中国科学院声学研究所 副研究员
2005-04--2007-01, 中国科学院声学研究所 助理研究员
2002-04--2005-04, 中国科学院声学研究所 研究实习员
申请发明专利20余项，其中授权14项，代表性专利：
(1)一种十字形板状MEMS压电指向性传感芯片,发明,2019,第2作者,专利号: 201911331181.5
(2) 十字形板状MEMS压电指向性传感芯片的制备方法,发明,2019,第2作者, 专利号:201911331218.4
(3) 一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810630642.8
(4) 一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710683049.5
(5) 一种掺钒ZnO厚膜及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711494906.3
(6) 一种U型槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710924451.8
(7) 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610007166.5
(8) 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610007249.4
(9) 具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410515474X
(10) 一种软支撑桥式硅微压电超声换能器及其制备方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078945.4
(11) 一种软支撑桥式硅微压电传声器及其制备方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078947.3
(12) 一种软支撑悬臂梁式硅微压电传声器及其制备方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078946.9
(13) 一种图形化锆钛酸铅铁电薄膜的剥离制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200610112678.4
(14) 一种图形化铂/钛金属薄膜的剥离制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200610112676.5
(15) 一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: ZL200410098844.0
近期科研项目
（ 1 ）掺钒氧化锌厚膜MEMS矢量水听器研究, 主持, 国家级, 2019-01--2022-12
（ 2 ）超声检测和成像的逆时偏移和时间反转混合方法, 参与,部委级, 2016-08--2021-7
（ 3 ）MEMS水下换能器, 主持, 国家级, 2017-02--2021-12
（ 4 ）MEMS声学矢量传感器研究, 子课题主持, 国家级, 2019-06--2021-12
（ 5 ）基于BST可调声表面波滤波器关键技术研究, 主持, 国家级, 2018-08--2020-08
（ 6 ）基于微色谱技术的小型化声表面波毒气报警系统研究, 主持, 所级, 2016-01--2019-12
（ 7 ）超声检测关键技术研究, 子课题主持, 国家级, 2016-01--2020-06
研究领域
声学与振动MEMS：微电子机械系统（Micro Electro-Machanical System）,简称MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理、控制电路以及通讯接口等组成的集信号采集（感知）、信号处理和执行、显示和控制为一体的微型集成系统。具有成本低、功耗低、集成度高等优点。在生物医学、化工、通讯、国防、机械、自动控制、汽车工程、安全保密系统等方面都有广阔的应用前景。声学与振动MEMS的主要研究包括，硅微传声器、微机械超声换能器、微压力传感器、MEMS水听器、薄膜体声波谐振器等。
功能薄膜材料和器件：主要研究高性能铁电、压电、磁致伸缩等功能薄膜材料及其器件。
近期论文
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(1) Structure and piezoelectricity properties of V-doped ZnO thin films fabricated by sol-gel method, Journal of Alloys and Compounds,2020,通讯作者
(2) BST 铁电薄膜的制备及介电性能研究,压电与声光,2019,通讯作者
(3) 溶胶-凝胶法制备掺钒ZnO纳米粉, 压电与声光, 2019, 通讯作者
(4) Design and Analysis of a Novel MEMS Piezoelectric Accelerometer for Vector Hydrophone, Symposiumon Piezoelectricity, Acoustic waves, and Device Applications, 2019, 通讯作者
(5) Experimental investigation of the detection and location of a target in layered media by using the TR-RTM mixed method, Science China (Physics, Mechanics & Astronomy), 2019, 第 4 作者
(6) MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展, 应用声学, 2018, 第 1 作者
(7) Reverse-time-migration imaging for a crack in a thin plate by dispersed flexural waves, AIP Advances, 2018, 第 4 作者
(8) ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm, Smart Materials and Structures, 2017, 第 1 作者
(9) Design and Fabrication of Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) with Partially-Etched ZnO Film, Sensors, 2017, 第 1 作者
(10) Design and Analysis of MEMS Linear Phased Array, Micromachines, 2016, 通讯作者
(11) ZnO薄膜硅微压电矢量水听器, 声学学报, 2016, 第 1 作者
(12) 高次谐波体声波谐振器的机械品质因数, 声学学报, 2016, 第 3 作者
(13) 0-3 法制备 PZT 厚膜及其性能研究, Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method, 人工晶体学报 , 2015, 通讯作者
(14) Micro-patterning of PZT thick film by lift-off using ZnO a sasacrificial layer, Ceramics International, 2015, 第 1 作者
(15) Effect of Annealing Process on Properties of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method, Ferroelectrics, 2013, 第 1 作者
(16) Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Lead Zirconate Titanate (PZT) Films, Microsystem Technologies, 2013, 第 1 作者
(17) Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone, Key Engineering Materials, 2013, 第 2 作者
(18) Influences of crystallization temperature and slurry concentration on stress of PZT thick film prepared by a modified sol-gel method, Key Engineering Materials, 2013, 第 3 作者
(19) 时间反转和逆时偏移混合法用于层状介质中目标的声学检测和定位, 声学学报, 2013, 第 4 作者
(20) 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究, 机械工程学报, 2012, 第 1 作者
(21) Sｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ粉体的工艺研究, 压电与声光, 2012, 通讯作者
(22) Design and Fabrication of a Novel PZT Films Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, 2009 International Conference on Measuring Technology and Mechatronics Automation, 2009, 第 1 作者
(23) 不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究, 压电与声光, 2009, 第 1 作者
(24) Pt/Ti electrodes of PZT thin films patterning by novel lift-off using ZnO as a sacrificial layer., Chinese Physics Letters, 2008, 第 1 作者
(25) 衬底和O2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响, 功能材料, 2008, 第 1 作者
(26) Development and Analysis of A RF Film Bulk Acoustic Resonator, Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 第 2 作者
(27) 应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性, 功能材料与器件学报, 2008, 第 2 作者
(28) 适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制, 声学技术, 2008, 第 1 作者
(29) 圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制, 声学技术, 2007, 第 1 作者
(30) PZT 薄膜的制备及其与 MEMS 工艺的兼容性研究,半导体学报, 2006, 第 1 作者
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