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个人简介

招生专业 081102-检测技术与自动化装置 招生方向 原子力显微镜技术 纳米操作机器人 微纳加工制造 教育背景 2013-09--2018-06 中国科学院沈阳自动化所 博士 2010-09--2013-03 沈阳工业大学 硕士 2006-09--2010-07 沈阳工业大学 学士 工作简历 2019-01~现在, 中国科学院沈阳自动化所, 副研究员 2018-08~2018-12,中国科学院沈阳自动化所, 助理研究员 2016-12~2020-08,中国科学院沈阳自动化所, 助理研究员(优秀博士提前留所) 奖励信息 (1) 中国自动化学会优秀博士论文奖, 其他, 2019 (2) 全国机器人与智能制造博士后学术论坛优秀论文奖, 二等奖, 研究所(学校), 2018 (3) 北京市普通高校“优秀毕业生”, 省级, 2018 (4) 研究生国家奖学金, 部委级, 2017 (5) T. J. Tarn机器人学最佳会议论文奖, 其他, 2017 专利成果 ( 1 ) 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN 107188116 B ( 2 ) 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法, 发明, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN 110763873 A 科研项目 ( 1 ) 面向石墨烯类生命感知接口器件的晶向调控与亚表面成像方法研究, 主持, 国家级, 2020-01--2022-12 ( 2 ) 类生命机器人细胞驱动器轴向力学特性测量方法研究, 主持, 市地级, 2019-01--2020-12 ( 3 ) 面向细胞驱动的肌节轴向机械特性快速测量方法研究, 主持, 国家级, 2019-03--2020-06

研究领域

基于原子力显微镜的纳米操作机器人,面向生物与半导体应用的高级测量设备研发

近期论文

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(1) Phase shifting-based debris effect detection in USV-assisted AFM nanomachining, Applied Surface Science, 2018, 第 1 作者 (2) Layer-controllable nanofabrication of two-dimensional materials with phase-mode AFM, Materials Letters, 2018, 第 2 作者 (3) Fabrication of Sub-Micrometer-Sized MoS2 Thin-Film Transistor by Phase Mode AFM Lithography, Small, 2018, 第 2 作者 (4) Phase mode nanomachining on ultra-thin films with atomic force microscopy, Materials Letters, 2017, 第 1 作者

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