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个人简介

招生方向 精密光机系统装调,检测 衍射光学元件设计 教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位 1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位 工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12

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(1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者

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