个人简介

发表论文10余篇，授权国家发明专利5件。 招生方向 超精密光学制造工艺 精密光学制造设备 射频离子源技术 教育背景 2003-09--2007-06 华中科技大学 理学学士 工作简历 2016-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员 2012-08~2015-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员 2007-09~2012-06,中国科学院大学, 工学博士 科研项目 （ 1 ） 低能宽束离子源与光学材料的作用特性研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12 （ 2 ） NA0.75投影光刻系统研制, 参与, 国家级, 2009-09--2018-06

研究领域

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精密制造装备、超精密光学元件制造技术、飞秒激光微纳结构制造技术等

长期从事国家重大专项中的精密装备制造技术研究和精密元件制造工艺研究。