个人简介
2005年毕业于清华大学精密仪器与机械学系,获工学学士学位;2010年毕业于清华大学精密仪器与机械学系,获工学博士学位。
研究领域
研究方向为摩擦学、表界面理论与技术。具体如下:纳米至原子尺度下表面间相互作用机理研究;纳米摩擦学,摩擦机理研究;半导体制造工艺中的化学机械抛光技术及超净表面制备技术;扫描探针显微镜在微纳米尺度摩擦学方面的应用研究。
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