个人简介

教育背景 2002-2006: 中国科学技术大学，少年班系，应用物理方向 本科 2006~2013：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硕博 任职经历 2013~2015：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 博士后 2015~至今：苏州诺联芯电子科技有限公司 技术总监 2018~至今：西安交通大学纳米学院 兼职副研究员 2018~至今：安徽大千生物工程有限公司 MEMS传感器技术顾问

研究领域

MEMS气体传感器开发与应用，MEMS微纳加工在精准医疗中的应用

主持、参与项目 2019年：主持国家自然科学基金“基于光动力效应的抗肿瘤水凝胶复合微针研究”（批准号51975133）

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1) Xiao Yu, Yuchen Wang, Hong Zhou, Yanxiang Liu, Yi Wang, Tie Li, Yuelin Wang, “Top-down fabricated silicon-nanowire-based field-effect transistor device on a (111) silicon wafer”，Small，v 9, n 4, p 525-530, 2013. 2) Xiao Yu, Yuchen Wang, Yanxiang Liu, Tie Li, Hong Zhou, Xiuli Gao, Fei Feng, Tomi Roinila and Yuelin Wang, “CMOS MEMS-based thermoelectric generator with an efficient heat dissipation path”, J. Micromech. Microeng. Vol.22, 105011, 2012. 3) Xiao Yu, Yuchen Wang, Tie Li, Yuelin Wang, “Silicon nanowires honeycomb array fabrication with low-cost top-down technology on (111) silicon wafer”，17th Transducers, 2013. 4) Xiao Yu, Yanxiang Liu, Hong Zhou, Yi Wang, Tie Li, Xiuli Gao, Fei Feng, and Yuelin Wang, “Thermal Matching Designed CMOS MEMS-Based Thermoelectric Generator for Naturally Cooling Condition”, Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP, 2013. 5) Xiao Yu, Qinhua Jin, Tie Li, Yuelin Wang, “Precise Width Control of Single Crystalline Silicon Nano-Wall Structure Based on Wet Etching Process on (111) Wafer”, Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2012. 6) Xiao Yu, Yanxiang Liu, Tie Li, Hong Zhou, Xiuli Gao, Fei Feng, Yuelin Wang, “Thin-Film-Based Thermoelectric Energy Generator Device with a Card Structure”, IEEE Sensors, 2012.