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周成刚 高级工程师 硕导 收藏 完善纠错
中国科学技术大学    微电子学院
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个人简介

经历： 2007年 中国科学技术大学测试计量技术与仪器专业博士学位 2007年-2010年 上海科学院集成电路制造装备研究中心 常务副主任 主持开展400nm无掩模光学光刻机的研制工作 2010-至今 中国科学技术大学先进技术研究院电子技术研发评测中心 主任

研究领域

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微纳米加工检测技术与微电子、光电子、生命医疗等学科交叉领域应用，微纳米尺度加工制造及表征测试技术、芯片失效分析与检测、测试计量技术与仪器研制等。

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