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个人简介

徐中贵(1991- ):专业老师 浙江大学工学硕士 科研:参与基于氮化铝薄膜MEMS压电超声波换能器(PMUT)的无线能量传输研究,是国内较早涉及这一领域的研究人员之一参与国家自然科学基金面上项慢衰减抗振动MEMS半环谐振陀螺及其制造方法研究。参与共同发表SC、E收录文章10余篇参与共同申请发明专利具有三梁音又的微振式压差传感器C2017219145基于静电刚度调制机理的微型谐振式电荷传感器及其方法具有单自由端的弯曲梁微谐振式静电计及电荷检测方法

研究领域

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微机械电子系统(MEMS)的设计与加工 微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件等。

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