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个人简介

校內榮譽 2016 傑出產學研究獎 國立清華大學 2015 傑出產學獎 國立清華大學工學院 2011 傑出產學合作獎 國立清華大學 2011 傑出產學合作獎 國立清華大學工學院 校外榮譽 2015 IEEE Fellow IEEE (美國電機電子工程學會) 2015 MEMS Industry Contribution Award SEMI 2015 科技部104年度傑出研究獎 科技部 2015 績效卓著獎,MG+4C 產學計畫 (與原相科技和京元電子) 智慧電子國家型科技計畫 2012 IoP (Institute of Physics) Fellow IoP (英國物理學會) 2012 國科會101年度傑出研究獎 國科會 2011 微奈米科技獎章 中華民國奈微系統科技協會 2010 Outstanding MEMS Academic Award SEMI 2009 科技部98年度傑出研究獎 國科會 2009 -目前 常務理事 中華民國奈微系統科技協會 2007-2013 技術及國際委員會主委 中華民國奈微系統科技協會

研究领域

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1. 微機電系統 (MEMS) 2. 微感測器 3. 微致動器 4. 微加工技術 5. 微元件與系統測試技術 6. 薄膜機械性質量測技術

学术兼职

Transducers Conference International Steering Committee Chair 2017-目前 國立清華大學 講座教授 2016-目前 Sensors and Actuators A Editor 2014-目前 J. of Micromech. Microeng. Chief Editor 2014-目前 Sensors and Actuators A Editor 2014-目前 SEMI Taiwan Vice Chair MEMS and Sensor Committee 2014-目前 微感測器與致動器產學聯盟 主持人 2013-目前 中華民國奈微系統科技學會 常務理事 2009-目前 中華民國奈微系統科技學會 理事長 2013-2014 國立清華大學 特聘教授 2012 IEEE Sensors Conference Technical Program Chair 2012 The World Micromachine Summit Chair 2012 IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Editorial Board 2011-目前 IEEE Sensors Journal Associate Editor 2010-目前 SEMI Taiwan Committee MEMS Committee 2010-2014 The World Micromachine Summit Chief Delegate of Taiwan 2008-2012 中華民國奈微系統科技學會 技術及國際委員會主任委員 2007-2013 學術經歷 國際期刊 (SCI) J. of Micromechanics and Microeng. Editor in Chief 2014-目前 Sensors and Actuators A Associate Editor 2014-目前 Sensors and Materials Associate Editor 2014-目前 IEEE Trans. on Device and Materials Reliability Editorial Board 2010-目前 IEEE Sensors Journal Associate Editor 2010-目前 J. of Micromechanics and Microeng. Editorial Board 2005-2014 J. of Micro-Nanolithography, MEMS and MOEMS Associate Editor 2010-2015 IEEE Sensors Journal (Special issue) Lead Guest Editor 2012 IEEE Sensors Journal (Special issue) Guest Editor 2011 Transducers Conf. General Chair 2017 Transducers Conf. International Steering Committee 2009-目前 Transducers Conf. Best Paper Award Committee 2015 IEEE Sensors Conf. Technical Program Committee Chair 2012 IEEE NEMS Conf. Technical Program Committee Chair 2011 IEEE Sensors Conf. Asia Technical Program Committee Chair 2010 IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2010 Transducers Conf. Executive Technical Program Committee 2009-2015 Transducers Conf. Best Paper Award Committee 2009 The APCOT (Asia Pacific Conf. on Transducers) Steering Committee 2008-2016 Transducers Conf. Technical Program Committee 2007 IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2007 The MNC (Intl Microprocesses and Nanotech. Conf.) Program Committee 2005-2015 IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2004 IEEE R. Noyce Medal Committee Committee Member 2015-目前 The International Tech. Roadmap of Semiconductor (ITRS) MEMS Committee 2011-目前 Kyoto Prize Nominator 2013, 2016

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