周华 - 复旦大学 - 工程与应用技术研究院

个人简介

现任复旦大学工程与应用技术研究院微纳工程技术中心学术带头人，上海临港光华创新平台半导体微纳工程技术中心主任。获美国康乃狄克大学化学与材料学科博士学位。先后担任世界500强的半导体IC先进微纳制造技术装备、材料与工艺技术公司资深研发与产业化工程实现技术科学家，国际知名集成电路制造公司技术研发与大规模生产工程实现技术资深科学家等职务。长期从事半导体集成电路器件互连线工程实现技术、半导体集成电路制造装备、材料和器件的研发和产业化的工程实现技术等，是中国半导体集成电路铜互联线技术的奠基者之一。

研究领域

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