个人简介
学习经历
1995：理学博士，英国牛津大学Clarendon Laboratory 凝聚态物理系
1985：理学硕士，中科院上海技术物理研究所；半导体器件物理与工艺
1982：理学学士，上海复旦大学物理系，电子物理专业
工作经历
2012年起：复旦大学信息科学与工程学院，教授
2002 – 2012：英国卢瑟福-阿普尔顿国家物理实验室，微纳技术中心，首席科学家
1997 – 2002：英国格拉斯哥大学，纳米电子学研究中心，博士后
1996 – 1997：新加坡南洋理工大学，电子电工工程系，微电子部，博士后
1994 – 1996：荷兰代尔夫特理工大学，应用物理系，超导量子输运小组，博士后
1985 – 1990：中科院上海技术物理研究所，红外器件工艺实验室，助理研究员
获奖情况
1991年获得英国牛津大学凝聚态物理系最优秀博士生奖（Arthur Cooke Memorial Prize, 1991, Condensed Matter Physics Dept, Clarendon Laboratory, University of Oxford）
2012年获得国家高端海外人才引进计划
2015年获得ChinaNano2015最佳海报奖
2018年获得国务院政府特殊津贴
2021年《无孔不入纳米科技》课程获得上海思政领航课程称号
2022年获得《无孔不入纳米科技》思政标杆课程奖
研究领域
一、纳米光刻与纳米工艺技术
1. 高分辨率电子束光刻（High resolution electron beam lithography）
2. 三维灰度电子束光刻技术（Greyscale electron beam lithography for 3D profile）
3. 纳米压印光刻（Nanoimprint lithography）
4. 泰伯效应纳米光刻（Talbot nanolithography）
5. 纳米尺度反应离子刻蚀（Nanoscale reactive ion etch）
6. 深硅电感耦合反应离子刻蚀（Deep silicon reactive ion etch by inductively coupled process）
7. 纳米尺度金属电镀（Nanoscale metal electroplating）
二、微纳工艺与纳米制备（Micro nano processing & nanofabrications）:
1. 同步辐射X射线光学系统关键部件（菲涅尔波带片，汇聚透镜，光栅，分辨率测试卡，光束阻挡器，光阑）(Optical components in synchrotron radiation X ray optical system)
2. 纳米压印模板（NIL templates/stamps/shims）
3. 氮化硅隔膜技术（SiNx membrane technique）
4. 硅基隔膜技术 （Si membrane technique）
5. 各种微纳尺度的纳米结构与器件（Various nanostructures and nanodevices）
三、纳米电子器件和新型红外光电探测器（Nanoelectronic devices and infrared photoelectronic devices）
1．高电子迁移率晶体管和T形栅（High electron mobility transistors (HEMTs) and T gates） 2. 低维系统量子输运系统（Quantum transport in lower dimensional systems：2DEG, 1DEG, 0DEG quantum dots）
3. 短波红外偏振探测器和芯片（Polarization detectors and chips in short infrared wavelengths）
4. 全硅基短波红外光电探测器与焦平面芯片 (Si based photoelectronic detectors and focal plane chips in short infrared wavelengths)
四、纳米光子学与超表面材料（Nanophotonics & metasurface）
1. 二维纳米光子晶体和超表面材料的加工与光学特性研究（Fabrications and optical properties of 2D nanophotonics & metasurfaces）
2. 纳米结构色（Coloring effects by nanophotonic structures and metasurfaces）
3. 涡旋光场的相位调制板技术（Optical vortex by phase modulation plate technique）
4. 纳米仿生结构（Nanobionic structure: technology, science and applications ）
4.1 自然生物结构的纳米制备（Nanofabrications of naturally occurring biological nanostructures）
4.2 自然仿生结构的光学物理特性研究（Optical and physical property study of fabricated nanobionic structures）
近期论文
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Trapezoid-kinoform zone plate lens – a solution for efficient focusing in hard X-ray optics，Xujie Tong, Yifang Chen, Zijian Xu, Yijie Li, Zhenjiang Xing, Chengyang Mu, Jun Zhao, Xiangjun Zhen, Chengwen Mao and Renzhong Tai，Journal of Synchrotron Radiation, Vol.29, pp.386-392, 2022. https://doi.org/10.1107/S1600577522000893.
Precision integration of grating-based polarizers onto focal plane arrays of near-infrared photovoltaic detectors for enhanced contrast polarimetric imaging, Bo Feng, Yifang Chen, Duo Sun, Zongyao Yang, Bo Yang, Xue Li and Tao Li, INTERNATIONAL JOURNAL OF EXTREME MANUFACTURING, Vol.3, Issue3, Article Number 035201, DOI：10.1088/2631-7990/abf5c8，JUL 2021.
A Broadband Photoelectronic Detector in a Silicon Nanopillar Array with High Detectivity Enhanced by a Monolayer Graphene, Bo Feng, Xiaohang Pan, Tao Liu, Shuoqiu Tian, Tianyu Wang, Yifang Chen, NANO LETTERS, Vol. 21, Issue13, pp.5655-5662, DOI10.1021/NanoLett. 1c01244, JUL 14 2021.
Nanofabrication of 30 nm Au zone plates by e-beam lithography and pulse voltage electroplating for soft x-ray imaging, Jingyuan Zhu, Yifang Chen, Shanshan Xie, Lijuan Zhang, Chunpeng Wang, Renzhong Tai, Microelectronic Engineering, 2020, pp 11254, doi:https://doi.org/10.1016/j.mee.2020.111254
Achieving Infrared Detection by All-Si Plasmonic Hot-Electron Detectors with High Detectivity, Bo Feng, Jingyuan Zhu, Bingrui LU, Feifei Liu, Lei Zhou, and Yifang Chen, ACS Nano, DOI: 10.1021/acsnano.9b04236, 03 Jul 2019.
Reconstructing a plasmonic metasurface for a broadband high-efficiency optical vortex in the visible frequency, Bing-Rui Lu, Jianan Deng, Qi Li, Sichao Zhang，Jing Zhou, Lei Zhou and Yifang Chen，Nanoscale, pp 1-8, DOI: 10.1039/c8nr02088d, 2018
Photon-nanojet lens: design, fabrication and characterization, Chen Xu, Sichao Zhang, Jinhai Shao, Bing-Rui Lu, Mehfuz, Reyad; Drakeley, Stacey; Fumin Huang, Yifang Chen, Nanotechnology, 2016, 27(16)
Lithographically generated 3D Lamella layers and its structural color, Sichao Zhang, Yifang Chen* , Bingrui Lu, Jianpeng Liu, Jinhai Shao and Xu Chen, Nanoscale, 2016, 8(17):9118-9127.
High Resolution Plasmonic Structural Colors from Nanohole Arrays with Bottom Metal Disks, Bingrui Lu (#), Chen Xu, Jianfeng Liao, Jianpeng Liu, Yifang Chen, Optics Letters, 2016, 41(7):1400.
Nanofabrication by electron beam lithography and its applications: A review，Yifang Chen, Microelectronic Engineering, 2015,Vol.135, pp.57-72.（ME期刊创办30周年特邀综述文章）高被引文章。
学术兼职
信息学院教授委员会成员
Microelectronics Engineering期刊副主编
中国光学学会全息与光信息处理专委会委员
全国微光刻技术分会委员
九三学社科学普及委员会委员
欧洲研究理事会（ERC）远程评审专家
国自然基金、科技部专项、教育部学位、浦江人才等评审专家
Nature Comm, ACS Nano, MEE, AO, IJEM, 物理学报，精密光学工程等期刊审稿人
京公网安备 11010802027423号