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个人简介

幸研 教授 职称 教授 学习经历 1989年-1993年,东南大学,机械工程学院,本科/学士 1993年-1996年,东南大学,机械工程学院,研究生/硕士 1998年-2002年,东南大学,机械工程学院,研究生/博士 工作经历 2010年-现在,东南大学 教授、博士生导师 2005年-2007年,日本 名古屋大学(Nagoya University)微纳系统工程系 博士后研究 1996年-2009年,东南大学 副教授、讲师、助教、硕士生导师 2000年-2000年, 加拿大 Concordia大学访问学者 教授课程 算法语言与程序设计 计算机辅助设计 现代制造系统 获奖情况 江苏省“333”高层次人才培养工程 江苏省“六大人才高峰”高层次人才 江苏省科技进步奖一等奖(7) 江苏省科技进步奖二等奖(3) 东南大学教学工作优秀一等奖 科研项目 项目名称 项目类别 项目时间 工作类别 项目金额 总装“十二五”基础研究项目(航空钣金制造) 总装国防基础科研 2011-2015 承担 100万 聚焦离子束气体辅助刻蚀工艺机理与界面演化模拟方法研究 国家自然科学基金 2014-2017 承担 80万 适形各向异性湿法腐蚀工艺中表面活性剂的吸附机制与模型研究 国家自然科学基金 2010-2013 承担 36万 MEMS 多物理场耦合分析设计平台及应用产品开发与产业化 江苏省科技厅,成果转化项目 2009-2011 承担 35万 硅微湿法腐蚀MEMS工艺表面质量与微观形貌的计算模型 教育部留学归国人员基金 2009-2010 承担 3万 MEMS 湿法刻蚀工艺八叉树搜索动力学蒙特卡罗法仿真研究 江苏省自然科学基金 2008-2011 承担 10万 MEMS工艺平台研究 江苏省六大人才高峰 2011-2012 承担 6万 总装“十二五”基础研究项目(薄壁件装配) 总装国防基础科研 2011-2015 参与 180万 科工局“十一五”基础科研项目(电子装备设计制造集成) 科工局国防基础科研 2008-2011 参与 210万 基于数字化全科诊断的健康云服务平台关键技术研究 江苏省科技厅 2014-2017 参与 25万 基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成 科技部 2011-2015 参与 350万

研究领域

1. 微纳系统制造工艺 2. 微纳系统设计与模拟 MEMS CAD 3. 航空钣金模具设计、制造成形分析优化 4. 智能制造

近期论文

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[1] Yuan Li, M A. Gosálvez, Y Xing Particle Swarm Optimization-based Continuous Cellular Automaton for the simulation of Deep Reactive Ion Etching Journal of Micromechanics and microengineering. , 2015. SCI [2] P Pal, A Ashok, Y Xing. Anisotropic Etching in Low Concentration KOH: Effects of Surfactant Concentration. Micro & Nano Letters. 2015. SCI [3] P Pal, S Haldar, S Singh, A Ashok, Y Xing. A detailed investigation and explanation of the appearance of different undercut profles in KOH and TMAH. Journal of Micromechanics and microengineering. , 2014, V24(7) 095026 . SCI [4] P Pal, M A Gosalvez, K Sato, Y Xing. Anisotropic etching on Si{110}: experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners. Journal of Micromechanics and microengineering. 2014. 24(10) 125001 SCI [5] Jun Ni, WC Tang, Y. Xing. A Simple Algebra for Fault Tree Analysis of Static and Dynamic Systems. IEEE Transactions on Reliability, 2013, v62(4) 846-860. SCI [6] Jun Ni, WC Tang, Y. Xing. Three-dimensional Precision Analysis with Rigid and Compliant Motions for Sheet Metal Assembly, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2014. 72(11). SCI [7]Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato. Evolutionary determination of Kinetic Monte Carlo rates for the simulation of evolving surfaces in anisotropic etching of silicon Journal of Micromechanics and microengineering. , 2012, V22(8) 085020-085030. SCI [8]M. A. Gosalvez, N Ferrando, Y. Xing. Simulating anisotropic etching of silicon in any etchant: evolutionary algorithm for the calibration of the continuous cellular automaton. Journal of Micromechanics and microengineering. , 2011, V21(4) 065017-065027. SCI [9] Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, A Genetic Algorithm Based Kinetic Monte Carlo Simulatoin for the Evolution of Complex Surface In Anisotropic Etching 2011, IEEE Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems IEEE Transducers. P 374-378 [10] Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton, Journal of Micromechanics and microengineering. , 2010, V20(4) 015019-015029. SCI [11] Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, Step flow based Cellular Automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS structures,2007, New Journal of Physics, Vol 9(12):436-454. SCI [12]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Discrete and continuous cellular automata for the simulation of propagating surfaces. Sensor and Actuators: Physical A:, 2009, V155, p98-112 SCI [13]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Octree-Search Kinetic Monte Carlo. Sensor and Actuators: Physical A:, 2010, 156(3) 64-68. SCI [14]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Atomistic method for the simulation of evolving surfaces, Journal of Micromechanics and microengineering. 2008, V18(4) 0550290-0550306 . SCI [15] M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Analytical solution of the Continuous Cellular Automaton for anisotropic etching, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical System. 2008, V17(2) 410-431 SCI [16] M. A. Gosalvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. S. Foster, R. M. Nieminen, and, K. Sato, Faster simulations of step bunching during anisotropic etching: formation of zigzag structures on Si(110), Journal of Micromechanics and Microengineering. 17 (2007) S27–S37. SCI [17] Zhiyong Tan, Mitsuhiro Shikida, Masafumi Hirota, Yan Xing, Kazuo Sato. Characteristics of on-wall in-tube flexible thermal flow sensor under radially asymmetric flow condition. Sensor and Actuators: Physical A:, 2007, V138, p87-96. SCI [18] 幸研朱鹏易红汤文成,蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究 2008, 半导体学报2010 V29(10) 2027-2031 EI. [19] 幸研朱鹏多次掩模湿法腐蚀硅微加工过程的蒙特卡罗仿真 2009机械工程学报 v45(1) 240-245 EI [20] 王树桥,幸研,仇晓黎, 齐建昌. 混合进化算法的Metropolis蒙特卡罗MEMS单晶硅湿法刻蚀工艺模型,2012机械工程学报 v48(1) 240-245 EI

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